[发明专利]激光整形光路的调试及检验方法

说明书

本发明公开了一种激光整形光路调试及检验方法，该方法使用通光直筒、光阑和感光件，利用当光阑的通光孔与入射激光光束同轴时，感光件测量显示的光斑为对称的同心衍射环，通过调节调整架使感光件上显示的光斑为对称的同心衍射环来实现对光束整形器光路部分的调试；使用入口分划板和出口分划板，当激光通过入口分划板和出口分划板后会在加工平台上投影下来两个图像，通过调节反射镜组件使加工平台上的两个图像完全重合来实现振镜光路部分的调试，最后通过感光件对激光整形光路的效果进行检验，从而实现激光整形光路的高精度调试和对调试后的激光整形光路进行有效地检验。

技术领域

本发明涉及激光应用技术领域，尤其涉及一种激光整形光路的调试及检验方法。

背景技术

一般情况下，激光器输出的光束为高斯光束，即光束横截面的振幅呈高斯型函数分布。近年来随着加工效果的要求越来越高，为防止被加工材料表面过度曝光或曝光不足，需要将能量分布不均匀的高斯光整形为能量分布均匀的平顶光。

在采用整形光路结构的激光加工设备中，光束的严格准直是实现激光高质量加工应用的必要前提之一。在实际生产过程中，统一且有效的调试可保证机器质量的一致性及重复性，具有切实的技术及经济价值。但是目前激光光路的调试并不能解决光路高精度调试的要求。

发明内容

本发明实施例提供了一种激光整形光路的调试及检验方法，用于解决目前激光光路的调试不能解决光路高精度调试要求的问题。

根据本发明实施例，该激光整形光路的调试及检验方法，包括：

将调整架、反射镜组件和振镜沿光路方向依次安装；

将通光直筒安装在所述调整架上，所述通光直筒上设置有通光孔径小于激光光束直径的光阑，将感光件置于所述通光直筒出射光束的一端；

调节所述调整架的位置和角度，使所述激光光束穿过所述光阑并在所述感光件上呈现对称的同心衍射环；

取下所述通光直筒，将光束整形器安装在所述调整架上，移走所述感光件，使所述激光光束穿过所述光束整形器照射在所述反射镜组件上，并经所述反射镜组件反射后穿过所述振镜照射在加工平台上；

将第一分划板和第二分划板分别安装在所述振镜的入口和出口，使所述第一分划板和所述第二分划板在所述加工平台上分别投影出第一图像和第二图像；

调整所述反射镜组件的位置和方向，使所述第一图像和所述第二图像重合；

取下所述第一分划板和所述第二分划板，将场镜安装在所述振镜的出口上；

将感光件置于所述场镜的焦点处，检验所述激光整形光路的效果。

在所述激光整形光路的调试及检验方法的一些实施例中，所述调整架为四维调整架。

在所述激光整形光路的调试及检验方法的一些实施例中，调节所述调整架的位置和角度具体如下：

步骤一、调节所述四维调整架的方向旋钮，使呈现在所述感光件上的衍射环无遮挡；

步骤二、调节所述四维调整架的角度旋钮，使呈现在所述感光件上的衍射环无角度倾斜；

重复所述步骤一和所述步骤二，直至所述感光件上呈现出对称的同心衍射环。

在所述激光整形光路的调试及检验方法的一些实施例中，所述光阑包括第一光阑和第二光阑，且所述第一光阑和所述第二光阑间隔设置在所述通光直筒上。

在所述激光整形光路的调试及检验方法的一些实施例中，所述第一光阑的通光孔径为2mm，所述第二光阑为可调光阑，所述可调光阑的通光孔径调节范围为1-3mm。

在所述激光整形光路的调试及检验方法的一些实施例中，所述感光件为光斑分析仪。