[发明专利]检测方法、检测设备及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种检测方法，其特征在于，应用于检测设备，所述检测设备包括第一运动平台和承载件，所述承载件设置在所述第一运动平台，所述承载件用于承载并固定待测件，所述检测方法包括：

检测所述待测件和所述承载件之间的作用力；及

在所述作用力出现异常时，停止运行所述第一运动平台。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述承载件通过抽取所述待测件和所述承载件之间的空气实现对所述待测件的吸附固定，所述承载件设置有真空计，所述真空计用于检测所述待测件和所述承载件之间的真空度，所述检测方法还包括：

在所述真空度小于第一预设阈值时，确定所述作用力出现异常。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括压紧件，所述待测件设置在所述压紧件和所述承载件之间，所述压紧件用于施加压紧力，以使得所述待测件固定在所述承载件，所述承载件设置有压力传感器，所述压力传感器用于检测所述作用力，所述检测方法还包括：

在所述作用力小于第二预设阈值时，确定所述作用力出现异常。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，还包括：

在所述承载件承载有所述待测件，且所述待测件位于预设检测区域时，进入所述检测所述待测件和所述承载件之间的作用力的步骤。

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备包括第一传感器和第二运动平台，所述第一传感器用于采集所述待测件的信息，所述第一传感器设置在所述第二运动平台，在停止运动所述第一运动平台后，所述检测方法还包括：

调整所述第一运动平台和/或所述第二运动平台的位置，以增加所述第一传感器和所述承载件之间的距离。

6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括第二传感器，所述第二传感器用于检测所述第一传感器和所述待测件之间的距离，所述第二传感器设置在所述第二运动平台，所述调整所述第一运动平台和/或所述第二运动平台的位置，以增加所述第一传感器和所述承载件之间的距离，包括：

获取所述第一传感器和所述待测件之间的距离；及

在所述第一传感器和所述待测件之间的距离小于第一预设距离时，移动所述第一运动平台和/或所述第二运动平台，以增加所述第一传感器和所述待测件之间的距离。

7.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括第三传感器和调节件，所述第三传感器用于采集所述待测件的采集信息，以确定所述待测件的翘曲度，所述调节件设置在所述第二运动平台，所述第三传感器设置在所述调节件，所述调节件用于调节所述第三传感器的高度和角度，在停止运行所述第一运动平台后，所述检测方法还包括：

调节所述第三传感器的高度，以增加所述第三传感器和所述待测件之间的距离；

调节所述第三传感器的角度，以使得所述第三传感器采集所述待测件的采集信息；

根据所述采集信息，控制所述第一运动平台和/或所述第二运动平台移动，以检测所述待测件。

8.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括第四传感器，所述第四传感器用于检测所述待测件和所述承载件之间的距离，所述承载件与所述待测件相对的表面开设有安装槽，所述第四传感器设置在所述安装槽，所述检测方法还包括：

获取所述待测件和所述承载件之间的距离；及

在所述待测件和所述承载件之间的距离大于第二预设距离时，移动所述第一运动平台和/或第二运动平台，以增加所述第一传感器和所述待测件之间的距离。

9.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括第一传感器和弹性件，所述第一传感器用于采集所述待测件的信息，所述弹性件可移动地设置在所述第一传感器，所述弹性件环绕所述第一传感器，在停止运行所述第一运动平台后，所述检测方法还包括：

控制所述弹性件朝所述承载件移动，以减小所述弹性件和所述待测件之间的第一间距，使得所述第一间距小于所述第一传感器和所述待测件之间的第二间距。