[发明专利]一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统

权利要求书

1.一种用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：包括驱动单元、成像旋转单元和无限远成像单元，所述驱动单元固定设置，用于带动待检测的产品(4)绕竖直设置的轴水平转动，所述成像旋转单元和所述无限远成像单元架设在所述驱动单元的上方；所述无限远成像单元对所述产品(4)进行成像，所述成像旋转单元用于在所述产品(4)成像时旋转图像。

2.根据权利要求1所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述无限远成像单元包括无限远显微物镜(11)和成像装置，所述无限远显微物镜(11)和所述成像装置从下至上间隔架设在所述驱动单元的上方，所述无限远显微物镜(11)用于将所述产品(4)产生的光线形成平行光，再由所述成像装置成像；所述成像旋转单元位于所述无限远显微物镜(11)和所述成像装置之间。

3.根据权利要求2所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述无限远成像单元还包括自动对焦装置(3)，所述自动对焦装置(3)固定设置，用于驱动所述无限远显微物镜(11)上下移动。

4.根据权利要求2所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述成像装置包括成像筒镜(12)和相机组件(13)，所述成像筒镜(12)和相机组件(13)从下至上间隔固定安装在所述成像旋转单元的上方，且所述成像筒镜(12)与所述无限远显微物镜(11)同轴设置。

5.根据权利要求2-4任一项所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述成像旋转单元包括驱动件和像旋转器(2)，所述像旋转器(2)可绕竖直轴水平转动的安装在所述无限远显微物镜(11)和所述成像装置之间；所述驱动件固定设置，用于驱动所述像旋转器(2)旋转以对所述产品(4)的成像进行旋转。

6.根据权利要求5所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述像旋转器(2)为道威棱镜。

7.根据权利要求1-4任一项所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：还包括照明单元，所述照明单元用于产生光线，并照射在所述产品(4)上，经所述产品(4)反射后再由所述无限远成像单元进行成像。

8.根据权利要求7所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述照明单元包括光源(5)，所述光源(5)固定设置在所述驱动单元的上方。

9.根据权利要求8所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：还包括光线处理装置，所述光线处理装置固定安装在所述无限远成像单元和所述光源(5)之间，所述光源(5)产生的光线经所述光线处理装置处理后照射于所述产品(4)上，并经所述产品(4)反射至所述无限远成像单元进行成像。

10.根据权利要求8所述的用于弧周缺陷检测的显微光学系统，其特征在于：所述光源(5)为同轴光源、离轴光源和背光光源中的一种或多种。