[发明专利]一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法

权利要求书

1.一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述测量工具包括：电子束输出组件、束斑测量组件和支架，所述竖板测量组件安装在支架表面并与其滑动连接，所述电子束输出组件安装在支架的顶部。

2.根据权利要求1所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述束斑测量组件包括YAG晶体板、反光镜、法拉第杯和CCD相机。

3.根据权利要求2所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述反光镜设置在YAG晶体板背面并背离电子束输出组件的一侧，所述CCD相机设置在反光镜的反射光路上，所述YAG晶体板法拉第杯的杯口处。

4.根据权利要求2所述的一种测量扫面电子显微镜电子束斑尺寸的方法，其特征在于：所述电子显微镜电子束斑尺寸的测量方法包括如下步骤：

步骤1：将一宽度小于法拉第杯直径的YAG晶体设置于法拉第杯的杯口，保证两者有良好的电接触，将法拉第杯放置于扫描电子显微镜的放置端，开启扫描电子显微镜；

步骤2：电子束输出组件输出电子束，电子束射向束斑测量组件的YAG晶体板，YAG晶体板将电子束转化成光束，然后射向反光镜，反光镜将光束反射至CCD相机，通过得到一张清晰的长方形金属薄片的电子显微图像，以测量电子束束斑的大小，截取部分图像，截取图像中包含该边缘沿电子显微镜扫描方向全部灰度变化过程；

步骤3：使用数据处理软件读取截取图片的RGB值，分别得到R、G、B三个二维灰度值矩阵；

步骤4：将步骤3中得到的三个矩阵求平均，得到一个平均矩阵，再对该平均矩阵的每一列求和，最后得到一个一维灰度值矩阵；

步骤5：根据步骤4得到的一维矩阵各元素数值绘制成二维曲线，曲线高度表示数值大小，定义该曲线为电子束积分曲线，该积分曲线的上升沿宽度即为电子束的束斑直径。