[发明专利]一种硅片检测装置

权利要求书

1.一种硅片检测装置，其特征在于，包括：

图像采集件(1)，用于采集待检测硅片上采集区域的图像；

挡板组件，置于所述图像采集件(1)与所述待检测硅片之间，所述挡板组件包括第一挡板(21)；

光源组件，包括两个光源(3)，其中一个所述光源(3)位于所述第一挡板(21)的第一侧，另一个所述光源(3)以及所述图像采集件(1)位于所述第一挡板(21)的第二侧，所述第一侧与所述第二侧相背设置，位于所述第一侧的所述光源(3)发出的光线照射至所述第一挡板(21)上并能够通过所述第一挡板(21)散射至所述采集区域内，位于所述第二侧的所述光源(3)发出的光线能够由所述第二侧达到所述采集区域内；

所述挡板组件还包括第二挡板(22)，所述第二挡板(22)位于所述第一挡板(21)的所述第二侧，且所述第一挡板(21)与所述第二挡板(22)置于两个所述光源(3)之间，位于所述第二侧的所述光源(3)发出的光线倾斜照射至所述第二挡板(22)上并能够经由所述第二挡板(22)散射至所述采集区域内，所述第一挡板(21)与所述第二挡板(22)之间设置有采集间隙，所述图像采集件(1)能够通过所述采集间隙采集所述采集区域的图像；

所述第一挡板(21)与所述第二挡板(22)平行设置，且与所述图像采集件(1)的镜头的中垂线平行。

2.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述第一挡板(21)与所述第二挡板(22)远离所述图像采集件(1)的一端均设有斜面(23)，所述斜面(23)远离所述图像采集件(1)的一端朝向所述图像采集件(1)的镜头的中垂线倾斜，两个所述光源(3)发出的光线分别对应倾斜照射至两个所述斜面(23)上。

3.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述第一挡板(21)与所述第二挡板(22)朝向所述图像采集件(1)的一侧均弯折有外延部(24)，所述外延部(24)朝向相背于所述采集间隙的方向倾斜。

4.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置还包括移动单元(4)，所述移动单元(4)用于驱动所述光源(3)相对于所述挡板组件移动。

5.根据权利要求4所述的硅片检测装置，其特征在于，所述移动单元(4)包括第一升降组件(41)和/或水平移动组件(42)；

所述第一升降组件(41)连接于所述光源组件，所述第一升降组件(41)用于使所述光源(3)上升或下降；

所述水平移动组件(42)连接于所述光源组件，所述水平移动组件(42)用于使所述光源(3)沿水平方向移动。

6.根据权利要求4所述的硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置还包括转动件(5)，所述转动件(5)的一端连接于所述光源(3)，所述转动件(5)的另一端转动连接于所述移动单元(4)。

7.根据权利要求6所述的硅片检测装置，其特征在于，所述光源(3)与所述转动件(5)可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置还包括第二升降组件(6)，所述第二升降组件(6)连接于所述图像采集件(1)，用于驱动所述图像采集件(1)上升或下降。