[发明专利]一种用于半导体自动加工的拨料装置

说明书

本申请涉及一种用于半导体自动加工的拨料装置，属于半导体加工设备技术领域，其主要方案包括：安装在机架上的固定座；竖直安装在固定座上且顶部设置有用于输送物料的输送轨道的安装板；转动安装在安装板上相对称的旋转臂；安装在安装板上用于驱动旋转臂转动的驱动件；安装在安装板上与旋转臂转动连接的连杆组件；以及设置在连杆组件远离旋转臂一端用于将输送轨道上的物料逐个转移到预定位置的拨料件。本申请的拨料装置在使用时，能降低周围环境对设备元器件的影响，提高对环氧塑封料推送的精准度，有效提高加工质量。

技术领域

本申请涉及半导体加工设备的技术领域，尤其是涉及一种用于半导体自动加工的拨料装置。

背景技术

在半导体加工领域中，比如在半导体的自动冲切系统中，就需要使用到产品上的环氧塑封体进行定位送料，并且，在加工过程一般会涉及到较多的工序，其中，就需要利用设备定位产品上的环氧塑封体，逐个转移到下一个工序上。因此，都会产生大量的粉尘，对元器件造成损害！

目前，在对产品上的环氧塑封体进行定位送料时，一般采用的是较为精密的器件，比如采用气缸与直线滑轨，利用气缸将产品上的环氧塑封体沿着预定的方向逐个推送到下一个工序上，从而完成产品上的环氧塑封体的转移工作。

针对上述相关技术，发明人发现，在气缸推送产品上的环氧塑封体的过程中，单个的环氧塑封体比较难被精准的推送到预定位置上，同时，由于车间内在加工的过程中常常会产生大量的粉尘，这些粉尘容易造成设备大量元器件的损坏，尤其是对气缸与直线滑轨的影响比较大，这更会影响环氧塑封体的精准推送，对此有待改进。

发明内容

本申请的目的在于提供一种用于半导体自动加工的拨料装置，能够降低周围环境对设备元器件的影响，提高对环氧塑封料推送的精准度，有效提高加工质量。

本申请的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于半导体自动加工的拨料装置，包括：安装在机架上的固定座；竖直安装在固定座上且顶部设置有用于输送物料的输送轨道的安装板；转动安装在安装板上相对称的旋转臂；安装在安装板上用于驱动旋转臂转动的驱动件；安装在安装板上与旋转臂转动连接的连杆组件；以及设置在连杆组件远离旋转臂一端用于将输送轨道上的物料逐个转移到预定位置的拨料件。

通过采用上述技术方案，设置的驱动件，在开启时，可以驱动旋转臂进行旋转，从而通过连杆组件带动拨料件运动，本申请的拨料件会在驱动件与连杆组件的配合下进行往复的规则运动，从而可以代替人工很方便的将输送轨道内的物料逐个推送到预定的位置上，此方案操作简单，且受到粉尘的影响较小，可以精准的将物料逐个推送。

本申请进一步设置: 所述连杆组件包括：端部转动连接在对应的旋转臂远离安装板一端上的连接杆；转动连接在旋转臂远离安装板一端上的驱动杆；以及安装在安装板上用于限制驱动杆沿预定轨道摆动的限位件。

通过采用上述技术方案，旋转臂在转动过程中，会通过连接杆带动驱动杆进行运动，使得拨料件可以对输送轨道内的物料进行拨送，而设置的限位件，则可以对驱动杆的摆动轨迹进行限制，使得驱动杆按照预定的轨迹运动。

本申请进一步设置: 所述限位件为转动安装在安装板上的摆动臂，所述摆动臂远离安装板的一端与驱动杆的中间位置转动连接。

通过采用上述技术方案，设置的摆动臂，可以有效的对驱动杆的摆动范围进行限制，操作简单，易于实现。

本申请进一步设置: 所述驱动杆与安装板之间的距离大于旋转臂与摆动臂的厚度。

通过采用上述技术方案，在驱动杆与安装板之间形成的距离空间，使得驱动杆在摆动的过程中，旋转臂与摆动臂可以容纳其中，既可以保证驱动杆旋转的稳定性，同时还可以有效的利用空间。