[发明专利]半导体行业洁净室内空气监测系统及方法

权利要求书

1.半导体行业洁净室内空气监测系统，所述半导体行业洁净室内空气监测系统包括标液提供装置和检测装置；其特征在于，所述半导体行业洁净室内空气监测系统还包括富集装置，所述富集装置包括：

多个管道，多个管道的进口端分别设置在不同的洁净室内，出口端连通密闭容器；

密闭容器，所述密闭容器的出口选择性地连通大气和抽气单元；

液体提供单元和排废单元，所述液体提供单元用于提供吸收所述洁净室内待测成分的液体，并输送到所述密闭容器内，所述排废单元用于排出所述密闭容器内的液体；

第一流路切换模块，所述第一流路切换模块用于使所述密闭容器选择性地连通任一个洁净室；

所述监测系统还包括进样装置，所述进样装置包括；

第二流路切换模块，所述第二流路切换模块用于使第一多通阀的端口选择性地连通所述标液提供装置和所述密闭容器；

第一多通阀和定量单元，所述定量单元和检测装置分别连通所述第一多通阀的端口。

2.根据权利要求1所述的半导体行业洁净室内空气监测系统，其特征在于，所述第一流路切换模块包括多个阀门，分别设置在各个管道上。

3.根据权利要求1所述的半导体行业洁净室内空气监测系统，其特征在于，所述监测系统还包括样品管理装置，所述样品管理装置包括：

第三流路切换模块，所述第三流路切换模块用于使所述第二流路切换模块选择性地连通多个富集装置中的任一容器。

4.根据权利要求3所述的半导体行业洁净室内空气监测系统，其特征在于，所述样品管理装置还包括：

第四流路切换模块，所述第四流路切换模块用于使第五流路切换模块选择性地连通多个样品容器中的任一个；

第五流路切换模块，所述第五流路切换模块用于使所述第二流路切换模块选择性地连通第三流路切换模块和第四流路切换模块。

5.根据权利要求1所述的半导体行业洁净室内空气监测系统，其特征在于，所述标液提供装置包括：

混合单元，所述混合单元接收第二多通阀输送来的标液和稀释液提供模块输送来的稀释液，混合后送所述第二流路切换模块；

第二多通阀和定量模块，所述第二多通阀分别连接第一抽吸模块、第六流路切换模块和载液模块，所述定量模块连通所述第二多通阀；

第六流路切换模块，所述第六流路切换模块用于使第二多通阀选择性地连通各种标液。

6.根据权利要求1所述的半导体行业洁净室内空气监测系统，其特征在于，所述进样装置还包括：

第二抽吸模块和载液模块，所述第二抽吸模块和载液模块连通所述第一多通阀。

7.半导体行业洁净室内空气监测方法，所述半导体行业洁净室内空气监测方法包括：

第一流路切换模块切换，密闭容器选择性地连通待测洁净室；

抽吸单元工作，待测洁净室内的空气进入所述密闭容器内的吸收液体内，所述空气中的待测成分在吸收液体中富集；

在上述富集的同时，第一多通阀和第二流路切换模块切换，所述密闭容器内的液体穿过第二流路切换模块，进入定量单元内，所述定量单元连接所述第一多通阀；

第一多通阀切换，所述定量单元内的液体进入检测装置，从而获得待测成分的含量；

待所述含量处于所述检测装置的选定含量区间内时，断开所述密闭容器和待测洁净室间的连通。

8.根据权利要求7所述的半导体行业洁净室内空气监测方法，其特征在于，所述半导体行业洁净室内空气监测方法还包括标定过程，所述标定过程为：

所述第二流路切换模块、第六流路切换模块、第二多通阀和第一多通阀切换，选择的标液通过第六流路切换模块进入与所述第二多通阀连接的定量模块内；

第二多通阀切换，所述定量模块内的标液进入混合单元内，与混合单元内的稀释液混合；

混合单元内的混合液穿过所述第二流路切换模块，进入所述定量单元内；

所述第一多通阀切换，所述定量单元内的液体进入检测装置，根据检测装置输出的标液的信息以及所述混合液中标液的含量，标定所述检测装置。