[发明专利]基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法在审

专利信息
申请号: 202110714591.9 申请日: 2021-06-25
公开(公告)号: CN113432551A 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 卢丙辉;刘炳国;刘国栋;陈凤东;甘雨;庄志涛 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 代理人: 张利明
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 基于 精密 运动 机构 微小 零件 三维 形貌 测量方法
【权利要求书】:

1.一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于包括,

将被测目标(5)固定在三维电动平移台的z轴升降台(3)上,视觉测头(6)固定在二维转台上,并使被测目标(5)的中心位于二维转台的两轴线交点处,将两轴线交点处作为坐标原点,使视觉测头(6)的光轴通过坐标原点;

控制二维转台旋转带动视觉测头(6)绕坐标原点二维旋转扫描,实现对被测目标(5)的三维形貌观测。

2.根据权利要求1所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,

所述被测目标(5)通过水平支撑架(4)固定在三维电动平移台的z轴升降台(3)上。

3.根据权利要求2所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,所述三维电动平移台包括x轴平移台(1)、y轴平移台(2)和z轴升降台(3),

x轴平移台(1)位于底层,y轴平移台(2)安装于x轴平移台(1)的运动工作台上,x轴平移台(1)和y轴平移台(2)的运动方向互相垂直;z轴升降台(3)安装于y轴平移台(2)的运动工作台上,z轴升降台(3)的运动方向垂直于xy平面。

4.根据权利要求3所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,水平支撑架(4)的一端固定于z轴升降台(3)的运动工作台中心,另一端连接被测目标(5)。

5.根据权利要求4所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,二维转台包括水平轴转台(8)和竖直轴转台(9),竖直轴转台(9)位于底层,水平轴转台(8)安装于竖直轴转台(9)的旋转工作台上;水平轴转台(8)和竖直轴转台(9)的轴在空间上正交。

6.根据权利要求5所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,

视觉测头(6)通过调焦平移台(7)固定于水平轴转台(8)的旋转工作台上;

调焦平移台(7)的运动方向垂直于水平轴转台(8)和竖直轴转台(9)的旋转轴所成平面。

7.根据权利要求6所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,调焦平移台(7)的运动方向与视觉测头(6)的光轴方向一致。

8.根据权利要求7所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,所述x轴平移台(1)、y轴平移台(2)、z轴升降台(3)、水平轴转台(8)和竖直轴转台(9)均为气浮平台。

9.根据权利要求8所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,x轴平移台(1)、y轴平移台(2)和z轴升降台(3)的行程均为±80mm,全行程范围内角度误差≤1,定位精度为0.5μm。

10.根据权利要求9所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法,其特征在于,水平轴转台(8)和竖直轴转台(9)的角定位精度为2,径向跳动量为1μm,水平跳动量为1μm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110714591.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top