[发明专利]一种MPCVD设备天线装置在审
| 申请号： | 202110715634.5 | 申请日： | 2021-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN113363697A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 赵俊芳;郭志刚;刘永宁 | 申请（专利权）人： | 碳方程新材料（山西）有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/00 | 分类号： | H01Q1/00;H01Q1/12;H01Q1/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 046000 山西省*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 设备 天线 装置 | ||
1.一种MPCVD设备天线装置，包括天线本体(1)，所述天线本体(1)顶部设置有盖板(5)，所述盖板(5)与天线本体(1)之间形成密闭的容纳空腔(6)，其特征在于：所述天线本体(1)顶部沿轴心处设置有进水通道(15)，进水通道(15)外侧设置有独立的出水通道(16)，通过进水通道(15)向天线本体(1)内壁注水对天线本体(1)冷却并且通过出水通道(16)排出用于冷却天线本体(1)。
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述天线本体(1)设置为倒锥形，所述天线本体(1)内部底端设置有凸台(2)。
3.根据权利要求1所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述天线本体(1)底部设置有通槽(7)，所述通槽(7)处设置有进气盘(3)，所述进气盘(3)上设置有贯穿的排气孔(4)，所述进气盘(3)与天线本体(1)螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述天线本体(1)顶部设置有进气管(8)，所述进气管(8)外侧设置有外壁管(9)。
5.根据权利要求4所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述进气管(8)外侧设置有进水块(10)，所述进水块(10)底部设置有出水块(11)，所述进水块(10)与出水块(11)通过焊接相固定，所述进气管(8)和外壁管(9)之间设置有中壁管(12)，所述中壁管(12)与进水块(10)相固定。
6.根据权利要求5所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述进水块(10)底部设置有第一沉孔(13)，所述中壁管(12)顶端设置于第一沉孔(13)内部并通过焊接与进水块(10)相固定，所述出水块(11)的底部设置有第二沉孔(14)，所述第二沉孔(14)的内侧壁上设置有第二内螺纹，所述外壁管(9)的外侧顶端设置有与第二内螺纹相啮合的第二外螺纹。
7.根据权利要求5所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述进水通道(15)由进气管(8)与中壁管(12)之间的缝隙形成，所述出水通道(16)由中壁管(12)和外壁管(9)之间的缝隙形成。
8.根据权利要求5所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述进水块(10)和出水块(11)一侧均设置有安装孔，所述进水块(10)一侧设置有进水卡套接头(17)，而在出水块(11)一侧设置有出水卡套接头(18)，所述进水卡套接头(17)和出水卡套接头(18)均安装于安装孔处。
9.根据权利要求4所述的一种MPCVD设备天线装置，其特征在于：所述进气管(8)底端贯穿凸台(2)并通过焊接与凸台(2)相固定，所述外壁管(9)贯穿盖板(5)并通过焊接与盖板(5)相固定。
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