[发明专利]多带电粒子射束照射装置及多带电粒子射束照射方法

权利要求书

1.一种多带电粒子射束照射装置，具备：

放出部，放出带电粒子射束；

成形孔径阵列基板，设置有多个第一开口，通过所述多个第一开口使所述带电粒子射束部分地通过而形成多射束；

多个消隐孔径阵列基板，设置有使所述多射束中的对应的射束通过的多个第二开口，在各第二开口配置有进行所述射束的消隐偏转的消隐器；

可动工作台，在与沿着光轴的第一方向正交的第二方向上隔开间隔地搭载所述多个消隐孔径阵列基板，在所述第二方向上移动而使所述多个消隐孔径阵列基板中的1个位于所述光轴上；以及

对准机构，进行位于所述光轴上的1个消隐孔径阵列基板与所述成形孔径阵列基板的对准调整。

2.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

还具备控制电路，该控制电路以驱动位于所述光轴上的1个消隐孔径阵列基板的消隐器的方式，切换对所述多个消隐孔径阵列基板的消隐器中的哪一个进行驱动。

3.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

所述对准机构在所述多个消隐孔径阵列基板之间是共通的。

4.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

所述可动工作台在所述多个消隐孔径阵列基板之间设置有所述多射束的全部射束能够通过的大小的开口，为了允许所述多个消隐孔径阵列基板均不位于所述光轴上的状态下的射束调整，所述开口能够移动至使所述全部射束通过的位置。

5.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

所述可动工作台具有：

第一可动工作台，搭载所述多个消隐孔径阵列基板中的一部分消隐孔径阵列基板；以及

第二可动工作台，搭载所述多个消隐孔径阵列基板中的另一部分消隐孔径阵列基板，

所述第一可动工作台以及所述第二可动工作台，为了允许所述多个消隐孔径阵列基板均不位于所述光轴上的状态下的射束调整，能够移动至在所述第一可动工作台与所述第二可动工作台之间形成供所述多射束的全部射束通过的大小的间隙的位置。

6.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

还具备驱动所述可动工作台的促动器，

所述促动器配置于在与所述第一方向和所述第二方向这两者正交的第三方向上与所述光轴重叠的位置。

7.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

还具备第二成形孔径阵列基板，该第二成形孔径阵列基板配置于所述多个消隐孔径阵列基板中的至少1个消隐孔径阵列基板上，并设置有比所述成形孔径阵列基板的所述第一开口小的第三开口。

8.根据权利要求1所述的多带电粒子射束照射装置，其中，

所述成形孔径阵列基板具备多个，

所述多带电粒子射束照射装置还具备：

第二可动工作台，在所述第二方向上隔开间隔地搭载所述多个成形孔径阵列基板，在所述第二方向上移动而使所述多个成形孔径阵列基板中的1个位于所述光轴上。

9.一种多带电粒子射束照射方法，其中，具备如下工序：

使在与沿着光轴的第一方向正交的第二方向上隔开间隔地搭载有多个消隐孔径阵列基板的可动工作台在所述第二方向上移动，使所述多个消隐孔径阵列基板中的1个位于所述光轴上的工序，所述多个消隐孔径阵列基板为设置有多个第二开口以及每个所述第二开口的消隐器的多个消隐孔径阵列基板；

进行位于所述光轴上的1个消隐孔径阵列基板与设置有多个第一开口的成形孔径阵列基板的对准调整的工序；

放出带电粒子射束的工序；

使用所述成形孔径阵列基板，通过所述多个第一开口使所述带电粒子射束部分地通过而形成多射束的工序；以及

使用位于所述光轴上的1个消隐孔径阵列基板的消隐器，进行所述多射束中的对应的射束的消隐偏转的工序。