[发明专利]一种洁净室洁净空间洁净度检测方法

权利要求书

1.一种洁净室洁净空间洁净度检测方法，其特征在于：所述检测方法用洁净度检测装置进行洁净室的洁净度检测；所述洁净度检测装置包括检测组件(1)、水平移动机构、竖直移动机构，检测组件(1)设置于竖直移动机构上，竖直移动机构设置于水平移动机构上，水平移动机构设置于洁净室的地面上；

所述水平移动机构包括伺服电机A(2)、水平丝杠螺杆(3)、水平移动平台(4)，伺服电机A(2)水平设置，水平丝杠螺杆(3)与伺服电机A的输出轴相联接；所述水平丝杠螺杆(3)上设置有相配合的水平丝杠螺母(5)，水平移动平台(4)固定设置于水平丝杠螺母(5)的顶部；所述水平丝杠螺杆(3)的外侧罩设有水平导向轨道(6)，水平移动平台(4)的底部设置有与水平导向轨道相配合的滑槽(7)，水平导向轨道与滑槽的配合设置提高了水平丝杠螺杆带动水平移动平台移动的稳定性；

所述竖直移动机构包括伺服电机B(8)、竖直丝杠螺杆(9)、竖直移动平台(10)，伺服电机B(8)竖向固定设置于水平移动平台(4)的顶面上，伺服电机B的输出轴与竖直丝杠螺杆(9)相联接；所述竖直丝杠螺杆(9)上设置有相配合的竖直丝杠螺母(11)，竖直丝杠螺母固定设置于竖直移动平台(10)的内侧；所述竖直丝杠螺杆(9)的外侧设置有导向柱(12)，导向柱(12)为内部中空顶部开口的柱体，竖直移动平台位于导向柱(12)的内部，竖直移动平台(10)的中部固定设置有升降柱(13)，升降柱的顶部固定设置有安装台(14)，检测组件(1)设置于安装台(14)上；

所述洁净室洁净空间洁净度检测方法为：用洁净度检测装置对洁净室进行多位置的洁净度检测；洁净度检测装置工作时首先将检测组件(1)移动到指定的待检测位置，当检测组件(1)需要水平移动时，伺服电机A(2)启动带动水平丝杠螺杆(3)旋转，水平丝杠螺杆(3)旋转使得与其相配合设置的水平丝杠螺母(5)沿着水平方向移动，带动固定于水平丝杠螺母顶部的水平移动平台(4)水平移动到与待检测位置相对应的水平位置上；当检测组件(1)需要竖直移动时，伺服电机B(8)启动带动竖直丝杠螺杆(9)旋转；竖直丝杠螺杆旋转带动与其相配合设置的竖直丝杠螺母上下移动，进而带动固定于竖直丝杠螺母上的竖直移动平台上下移动，从而通过升降柱带动位于安装台(14)上的检测组件(1)竖直移动到与待检测位置相对应的竖直位置上；通过水平移动机构与竖直移动机构的配合工作将检测组件(1)移动到指定的待检测位置对洁净室进行洁净度的检测，重复上述步骤实现洁净度检测装置对洁净室内不同的待检测位置的洁净度检测，实现洁净度检测装置对洁净室的多位置洁净度检测。

2.根据权利要求1所述的洁净室洁净空间洁净度检测方法，其特征在于：所述导向柱(12)的左侧内壁、右侧内壁均设置有竖直导向滑轨(15)；所述竖直移动平台(10)的左端、右端均设置有与竖直导向滑轨相配合的滑块(16)，竖直移动平台通过滑块沿着竖直导向滑轨平稳升降。

3.根据权利要求2所述的洁净室洁净空间洁净度检测方法，其特征在于：所述升降柱(13)为内部中空底部开口的柱体；所述竖直丝杠螺杆(9)的下端与伺服电机B(8)的输出轴固定相联，竖直丝杠螺杆(9)的上端穿过位于竖直移动平台内侧的竖直丝杠螺母后位于升降柱的内部空腔内。

4.根据权利要求3所述的洁净室洁净空间洁净度检测方法，其特征在于：所述竖直丝杠螺杆(9)的顶端固定设置有限位板(17)。