[发明专利]一种吸浮式无接触输运装置及控制方法有效
申请号: | 202110718425.6 | 申请日: | 2021-06-28 |
公开(公告)号: | CN113314449B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 钟伟;高明智;陈龙;黄磊 | 申请(专利权)人: | 江苏科技大学 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 南京华恒专利代理事务所(普通合伙) 32335 | 代理人: | 宋方园 |
地址: | 212003 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸浮式无 接触 输运 装置 控制 方法 | ||
1.一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:包括吸浮平台(1),所述吸浮平台(1)上设置有吸浮装置,所述吸浮装置连接有供气装置;所述输运装置还包括驱动装置,所述驱动装置连接有旋转平台;
所述吸浮平台(1)包括吸浮平台下层板(1-1)和吸浮平台上层板(1-2),所述吸浮平台下层板(1-1)上设置有位置传感器(2)和压力传感器(3),所述吸浮平台下层板(1-1)上还设置有吸浮装置;
所述吸浮装置包括一组吸浮单元气孔(4),所述吸浮单元气孔的规律吹气和吸气控制压力场的变化;所述吸浮单元气孔为朝向物体(13)的一侧内嵌多孔介质(7)的气孔;
所述供气装置包括与所述吸浮单元气孔(4)连接的供气通道(8),所述供气通道(8)上设置有换向阀(5),所述供气通道(8)远离吸浮单元气孔的一端连接有真空泵和正压气源(6-2),所述真空泵包括负压真空泵一(6-1)和负压真空泵二(6-3),根据压力场变化需要选择使用负压真空泵一(6-1)或负压真空泵二(6-3)。
2.根据权利要求1所述的一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:所述吸浮单元气孔(4)按照九宫格排列,起始单元格为吸气单元格,所述吸气单元格连接有负压真空泵,所述吸气单元格行列间隔分布,余下单元格为吹气单元格,所述吹气单元格连接有正压气源;所述吸气单元格通过真空泵增减抽气气流流量。
3.根据权利要求1所述的一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:所述多孔介质(7)为烧结粉末金属、纤维、泡沫陶瓷中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:所述换向阀(5)为两位三通阀,换向阀(5)的出气口A与所述吸浮单元气孔(4)连接,换向阀(5)的进气口B通过比例阀(10)与负压真空泵二(6-3)连接,换向阀(5)的进气口C通过比例阀(10)与负压真空泵一(6-1)连接;常态位时,换向阀的出气口A与进气口B相通,由负压真空泵二(6-3)进行抽气。
5.根据权利要求1所述的一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:所述旋转平台为并联平台(11),所述并联平台包括与驱动装置连接的连接板(11-1),所述连接板(11-1)上设置有可伸缩的连接臂,所述连接臂上设置有并联板,所述并联板与吸浮平台 (1)连接。
6.根据权利要求1所述的一种吸浮式无接触输运装置,其特征在于:所述旋转平台为XY旋转平台(12),所述XY旋转平台(12)包括与驱动装置连接的平台固定支架(12-1),所述平台固定支架(12-1)的一侧连接有第一电机(12-3),所述第一电机(12-3)的输出端与外框架(12-5)的一侧连接,所述外框架(12-5)相对的另一侧与平台固定支架(12-1)连接;所述外框架(12-5)还设置有第二电机(12-9),所述第二电机(12-9)的输出端与中间框架(12-13)连接,所述中间框架(12-13)连接有吸浮平台(1);所述外框架(12-5)和中间框架(12-13)分别由第一电机和第二电机驱动,在X轴和Y轴方向旋转,所述吸浮平台(1)跟随中间框架(12-13)旋转。
7.一种吸浮式无接触输运装置的控制方法,其特征在于所述控制方法用于控制如权利要求1~6任一项所述的吸浮式无接触输运装置,包括如下步骤:
步骤1、参数、状态初始化;
步骤2、由安装在平台上的位置传感器检测平台的位姿信息,通过压力传感器检测压力参数;
步骤3、通过三点确定平面位置,计算物体的位置参数,由位置参数计算出平台的移动量和移动方向;将压力参数值结合压力分布模型,拟合出平台表面压力分布曲线;
步骤4、由平台的位置参数确定电机的旋转方向和旋转角度;通过力矩公式相关公式,计算出所需要的流量大小;
步骤5、将得到的角度值和流量值传送至控制模块,分别控制电机驱动平台旋转,控制流量比例阀调节流量大小,以实现对平台的倾角补偿和压力场调节;
步骤6、后判断物体与装置是否同步运行,不是则返回步骤2重复以上步骤,是则保持当前状态继续运行。
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