[发明专利]用于MPOS偏置角一致性的切片辅助装置及方法

说明书

本发明涉及超精密玻璃加工技术领域，具体而言涉及用于MPOS偏置角一致性的切片辅助装置及方法，包括：玻璃块，具有一个水平底面和用于承载MPOS屏段的承载面，所述承载面和MPOS屏段的接触面涂有胶水；定位板，具有一个水平面，所述玻璃块的水平底面通过胶水粘接在所述定位板的水平面；底座，位于所述定位板的下方，所述定位板与所述底座通过定位板一侧的水平轴铰接；旋转台，用于将所述底座固定在所述旋转台上端面；通过控制X向螺旋测微头的进程量细调控制定位板与底座的夹角，使得MPOS屏段沿着X轴旋转，通过控制Y向螺旋测微头的进程量细调控制旋转台与工作台的夹角，使得MPOS屏段沿着Y轴旋转，矫正MPOS屏段内复丝指向，达到理想方向。

技术领域

本发明涉及超精密玻璃加工技术领域，具体而言涉及用于MPOS偏置角一致性的切片辅助装置及方法。

背景技术

Wolter-I型聚焦镜具备有效面积大、角分辨率高等优势，但Wolter-I体积大、质量重，使得其在要求轻型的X射线探测应用上受到极大的限制，在X射线探测工程应用中完全不占优势。为解决传统X射线聚焦镜的质量问题，基于MPOS的超轻型聚焦镜应运而生，其基于单次反射原理，采用玻璃材料制作而成，在同等有效面积情况下可将质量降低两个数量级。

MPOS具有扇形外形、方形微孔结构呈辐射状排布，可大幅降低制作难度，通过对MPOS进行环形结构拼接，可实现大有效面积等需求，将X射线聚焦镜拓展到深空探测工程、民用辐射监测等应用领域。

MPOS偏置角(用于表征方形微孔与表面垂直程度)决定着其最终的使用性能(角分辨率及共焦性能)，而切片的精度、屏段内方形微孔将共同决定偏置角。为了满足MPOS最终的使用性能，需要控制不同屏段切片(如附图1所示)后的偏置角在一个较小的波动范围内。目前可通过控制高精度工装及测量工具使得斜切角控制在一个较小的范围内波动，但是无法保证多个屏段切片后的MPOS偏置角具有较高的一致性，尤其是扇形的微孔光学元件MPOS，MPOS拼接成环形微孔光学元件时，若偏置角不一致，则使得焦点分散而无法使用。

现有技术文献：

专利文献1：CN111285600A用于固定MPO屏段空间位置的定位装置、切片方法与切片检测装置

发明内容

本发明目的在于提供适用于解决MPOS偏置角一致性的切片辅助装置及方案，本方案可在MPOS切多次切片单片后进行多片切割使得不同屏段制作出的MPOS偏置角具有较高的一致性。

本发明提供用于MPOS偏置角一致性的切片辅助装置，包括：

玻璃块，具有一个水平底面和用于承载MPOS屏段的承载面，所述承载面和MPOS屏段的接触面涂有胶水；

定位板，具有一个水平面，所述玻璃块的水平底面通过胶水粘接在所述定位板的水平面；

底座，位于所述定位板的下方，所述定位板与所述底座通过定位板一侧的水平轴铰接；

旋转台，设有夹具，用于将所述底座固定在所述旋转台上端面；

工作台，位于所述旋转台下方，所述旋转台与工作台沿竖直轴线转动连接；

其中，所述定位板远离水平轴的一侧设有贯穿定位板并能相对于其转动的X向螺旋测微头，X向螺旋测微头的另一端抵触到底座上，以改变定位板与底座之间的夹角；

所述工作台和旋转台上均设有沿径向方向的延伸部，所述工作台上的径向延伸部上设有Y向螺旋测微头，所述Y向螺旋测微头的一端抵触在旋转台上的径向延伸部上，使工作台和旋转台产生Y向偏转角。

本发明另外提出一种用于MPOS偏置角一致性的切片方法，使用上述的用于MPOS偏置角一致性的切片辅助装置，包括以下步骤：

MPOS屏段定位：将MPOS屏段通过一玻璃块粘结到定位板上；