[发明专利]一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统及方法

权利要求书

1.一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，包括：热电子采集装置、嵌入式系统、电位平衡模块和加热器模块；

所述嵌入式系统和所述电位平衡模块均设置在扫描电镜真空腔室外；所述热电子采集装置、所述加热器模块均设置在所述扫描电镜真空腔室内；

所述热电子采集装置分别与所述嵌入式系统和所述加热器模块连接；所述热电子采集装置用于采集所述加热器模块不同部位释放的热电子电压并将所述热电子电压传输至所述嵌入式系统；所述电位平衡模块与所述嵌入式系统连接；所述电位平衡模块还与所述加热器模块连接；所述嵌入式系统用于根据所述热电子电压输出不同部位的热电子屏蔽电压指令至所述电位平衡模块；所述电位平衡模块用于输出热电子屏蔽电压至所述加热器模块。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，所述加热器模块包括屏蔽层、加热器外壳和加热丝；

所述屏蔽层设置在所述加热器外壳外；所述加热丝设置在所述加热器外壳内；

所述热电子采集装置用于分别采集所述屏蔽层、所述加热器外壳和所述加热丝释放的热电子电压；

所述电位平衡模块用于分别输出热电子屏蔽电压至所述屏蔽层、所述加热器外壳和所述加热丝。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，所述热电子采集装置为AD模数转换模块。

4.根据权利要求1所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，所述电位平衡模块为DA数字转模拟芯片。

5.根据权利要求1所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，所述加热器多点电位平衡系统还包括运算放大器；所述运算放大器设置在所述扫描电镜真空腔室外；所述运算放大器用于分别对所述热电子电压和所述热电子屏蔽电压进行放大处理。

6.根据权利要求1所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡系统，其特征在于，所述加热器多点电位平衡系统还包括加热器供电模块；所述加热器供电模块与所述加热器模块连接。

7.一种扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡方法，其特征在于，包括：

获取热电子采集装置采集的加热器模块不同部位的热电子电压；

根据所述热电子电压确定不同部位的热电子屏蔽电压指令；

将所述热电子屏蔽电压指令发送至电位平衡模块以抑制所述加热器模块热电子的释放。

8.根据权利要求7所述的扫描电镜高温成像的加热器多点电位平衡方法，其特征在于，所述获取热电子采集装置采集的加热器模块不同部位的热电子电压之后还包括：

控制运算放大器对所述热电子电压进行放大处理。