[发明专利]一种还原液及其使用方法有效

专利信息
申请号: 202110723054.0 申请日: 2021-06-28
公开(公告)号: CN113445033B 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 孙宇曦;曾庆明 申请(专利权)人: 广东硕成科技股份有限公司
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 512000 广东省韶关市乳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 原液 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种还原液,其特征在于,包括溶剂和0.5-4.5wt%的还原剂;所述还原剂选自有机还原剂和无机还原剂的组合物,所述有机还原剂为含氮化合物;

所述还原液还包括0.001-0.1wt%的助溶剂和pH调节剂;所述助溶剂为2-甲基呋喃和二乙胺的组合,重量比为1:(1-5);

所述还原剂和助溶剂的重量比为1:(1000~50);

所述含氮化合物为或烷基硼氢化物;其中R1、R2、R3各自独立的选自C1-6烷基,氢,硼烷基中的一种;

所述无机还原剂选自亚磷酸盐、硼氢化物、硼烷中的一种或多种的组合,所述硼氢化物选自硼氢化钠、硼氢化钾、硼氢化镁、硼氢化锂、硼氢化锰、硼氢铝锂中的一种;

所述还原液的pH为9-11。

2.一种根据权利要求1所述还原液的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将活化步骤处理后的基板置于20-25℃自来水中,浸泡1-5min;

(2)将还原剂,助剂,溶剂按重量份比例混合,加入pH调节剂调节pH为9-11,得到还原液;

(3)将步骤1得到的基板置于还原液中,反应温度为32-36℃,反应时间为33-37s,得到还原处理后的基板。

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