[发明专利]一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置

权利要求书

1.一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置， 采用CIGS共蒸法工艺在真空环境下完成镀膜，其特征在于：包括圆柱壳状的线性硒源容器，线性硒源容器的侧面沿圆柱法线方向开设有一条直线型的硒蒸汽喷口，所述线性硒源容器连接有盒状硒源，盒状硒源内部装有待蒸发的硒金属，盒状硒源设有进料口和点状喷口，盒状硒源在硒金属上方设置加热源；盒装硒源从点状喷口输出的硒蒸汽在线性硒源容器形成一个稳定的状态后，从线性硒源容器的直线型硒蒸汽喷口处输出，形成线性源；线性硒源容器的外壁还设置可提供二次加热的加热线圈，对线性硒源容器中硒蒸汽进行二次加热。

2.根据权利要求1所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述盒状硒源为设置在线性硒源容器外部的外置硒源，盒状硒源通过硒蒸汽输送管连接线性硒源容器，硒蒸汽输送管上依次设置有单向调压阀和流量计，硒蒸汽输送管外部还包设有防漏腔。

3.根据权利要求2所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述盒状硒源并列设置多个，各盒状硒源连接同一蒸汽输送管。

4.根据权利要求2所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述盒状硒源设置单个，盒状硒源内部分隔成多个独立腔室，各腔室具有独立的进料口和点状喷口，各腔室连接同一蒸汽输送管。

5.根据权利要求2或3或4所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述线性硒源容器的内部设有往复式盘管，往复式盘管与蒸汽输送管相连，往复式盘管上均匀开设有气孔。

6.根据权利要求2或3或4所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述线性硒源容器设置在蒸镀反应腔内部，盒状硒源设置在蒸镀反应腔的外部，蒸镀反应腔内部在线性硒源容器下方设置铜、铟、镓的金属蒸发源，蒸镀反应腔内部还设有压力计。

7.根据权利要求1所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述盒状硒源为设置在线性硒源容器内部的内置硒源，盒状硒源内部分隔成多个独立腔室，各腔室具有独立的进料口和点状喷口。

8.根据权利要求7所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述线性硒源容器设置在蒸镀反应腔内部，蒸镀反应腔内部在线性硒源容器下方设置铜、铟、镓的金属蒸发源，蒸镀反应腔内部还设有压力计。

9.根据权利要求1或2或3或4或7或8所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述线性硒源容器的圆柱壁上均匀布设有加热线圈，线性硒源容器侧壁设有热电偶。

10.根据权利要求1或2或3或4或7或8所述的一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置，其特征在于：所述线性硒源容器的直线型硒蒸汽喷口设置有内倒角。