[发明专利]一种导电TeOX

权利要求书

1.一种导电TeO_X旋转靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)将Te粉末和TeO₂粉末混合均匀，得到混合料；

(2)将石墨模具喷上脱模剂后再涂抹上一层氮化硼粉体，然后将步骤(1)得到的混合料装入石墨模具中进行热压，降温出炉，即得TeO_X旋转靶材；

所述步骤(1)中，Te粉末和TeO₂粉末的质量比为5～15％:85～95％，1.64≤X≤1.88；

Te粉末和TeO₂粉末的粒度均为-325目，纯度均为5N；

所述步骤(1)中，混合操作为装入球磨罐中进行球磨混合；

所述步骤(2)中，热压前还包括以下步骤：将装好料的石墨模具放入热压炉内；

所述步骤(2)中，热压工艺为先将炉体抽真空至绝对真空度低于5Pa，然后升温到300～400℃，保温40～60min，继续升温到660～680℃，保温30～50min，然后开始加压，压力达到18～25MPa后，继续保温50～60min；

升温至300～400℃的升温速率为4～6℃/min，升温至660～680℃的升温速率为5～10℃/min，加压至18～25MPa的时间为30～50min；

所述步骤(2)中，降温出炉操作为随炉降温至小于300℃时开始泄压，降温到室温后，出炉；

制备得到的TeO_X旋转靶材的相对密度大于90％、电阻率小于2000Ω·cm。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括步骤(3)，将步骤(2)所得的TeO_X旋转靶材进行机械加工、研磨及抛光处理。

3.一种导电TeO_X旋转靶材，其特征在于，该靶材采用权利要求1-2任一所述的TeO_X旋转靶材的制备方法制备得到。