[发明专利]一种光谱显微成像装置及实现方法有效

专利信息
申请号: 202110732122.X 申请日: 2021-06-29
公开(公告)号: CN113568156B 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 颜成钢;柴夏媛;吕彬彬;孙垚棋;张继勇;李宗鹏 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: G02B21/36 分类号: G02B21/36;G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 朱月芬
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 光谱 显微 成像 装置 实现 方法
【权利要求书】:

1.一种光谱显微成像装置的实现方法,其特征在于,光谱显微成像装置包括依次设置的照明光源(1)、载物台(2)、显微物镜(3)、视场光阑(4)、闪耀光栅(6)、带通滤波器(7)、4F中继透镜(5)、微透镜阵列(8)、平移台(12)、掩膜(13)和CCD阵列(9);所述的4F中继透镜(5)共有两组,分别设置在带通滤波器(7)和微透镜阵列(8)之间以及平移台(12)和CCD阵列(9)之间;

照明光源(1)照射到载物台(2)上,在显微物镜(3)成像镜头中获取载物台上样本的二维图像信息并成像在视场光阑(4)所在平面,照射到闪耀光栅(6)的表面;闪耀光栅(6)将不同光谱波长下的透射光色散到不同角度上,带通滤波器(7)使得闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段单独通过,并屏蔽其它波段以及其它光栅级上的光线;此时光栅色散后的光线经过4F中继透镜(5)重新汇聚在微透镜阵列(8)所在平面,不同波长的光线在微透镜阵列(8)后方微透镜焦平面上聚焦,并且连续光谱延光栅色散方向一字展开,展开的像经过第二个4F中继透镜(5),投射到CCD阵列(9)上;整个光路系统前后需要数值孔径匹配,即投射到微透镜阵列(8)上的光与微透镜阵列(8)本身的数值孔径大小差异不能超过设置阈值;所述的平移台(12)和掩膜(13),用于将得到的降采样后不清晰的图像清晰化;

包括如下步骤:

步骤一:光从照明光源(1)出发,照射到载物台(2)上,载物台(2)上的观测物体被照亮;再由显微物镜(3)的成像镜头将观测物体的实像投在视场光阑(4)所在的平面,亦即投射在了闪耀光栅(6)上;此时,观测物体的实像与闪耀光栅(6)的刻线面重合,闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像发生色散;

步骤二:由于带通滤波器(7)的带通特性,闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段L1至Ln单独通过,经过4F中继透镜(5)重新汇聚到微透镜阵列(8)上;

步骤三:由于映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体实像的色散角度不同,不同波长的光重新汇聚在微透镜阵列(8)上实像不仅会有不同的出射角,还会在微透镜焦平面(10)上沿着一个维度发生色散,光透过不规则的掩膜,形成掩膜和物象相叠加的图像,观测到物体色散后的实像经过4F中继透镜(5)成像在CCD阵列(9)的像素阵列上,并通过相机获取图像信息;

步骤四:CCD阵列(9)的像素阵列中的子像素(11)区域在微透镜阵列(8)中每一个微透镜都有对应,子像素(11)大小为N×N个像素,其中N为奇数,且3N13,并且经过该微透镜的出射光会投射到子像素(11)的中间一行像素上,此时,将子像素(11)中中间一行对应位置的像素重新组合,组合方式为,将每个微透镜对应的子像素(11)中的第(N+1)/2行的第i个像素按照微透镜位置排序组合为第i张图像Ai,其中i=1,2……N,即可得到载物台(2)上观测物体在λi波长下对应的光谱图像Ai,其中λi=L1+(i-0.5)×(Ln-L1)/N;记录下图像信息;

步骤五:利用平移台(12)将掩膜(13)在掩膜平面内移动,共移动k*k次,每次移动1微米,采用步骤四的方法记录下图像信息,一共重复k*k次,记录下k*k张图像信息;

步骤六:得到N组k*k的图像,对于每一组单波长图像进行如下操作,具体如下:

输入为J(J=k*k)张原始图像,在迭代开始赋予物体和照明光的初始猜测Oj、Pj,其中,初始猜测照明光为P1(x0,y0),j∈[1,J]:

(6-1):根据移动的x、y信息,用P和移动值xj、yj来表示移动后的掩膜信息Pj=P(x0-xj,y0-yj);利用公式计算出仿真的叠加后的图像,其中,表示叠加后的图像,Oj表示第j张图像所对应的物体图像,Pj为移动后的掩膜信息;

(6-2):获得相机到像面的距离d,利用点扩散函数PSF和公式ψj(x,y)=PSF(d)*(x,y)算出仿真的波前,其中ψj表示仿真出的波前;

(6-3):根据光强度等于振幅的平方算出仿真的光强度Intensity,Intensity=|ψi(x,y)|2

(6-4):用仿真的光强度去和真实的图像进行上采样并将像素扩大为m*m倍;

(6-5):利用公式:

计算出把图像转换成m*m倍图像的波前,其中ψj’为更新的仿真波前;

(6-6):根据相机到像面的距离d,利用点扩散函数PSF和公式:

进行相当于(3)的逆变换,得出新的真实的波前;

(6-7):代入公式:

更新物体O的数据,其中,conj为共轭,αobj为rPIE中的算法权值;

(6-8):代入公式:

更新照明光P的数据,其中,αp为rPIE中的算法权值;

(6-9):重复(6-1)~(6-8)的步骤,并每次将j加一处理,直到j=J;

(6-10):重复(6-1)~(6-10)的步骤n次,直到足够小;

(6-11):将最后优化得到的物体O作为分辨率提升的图像复振幅,则重建图像为I=|O|2

步骤七:对于步骤六中每一组单波长图像,均求得其分辨率提升后的图片Ii作为当前波长的图像。

2.根据权利要求1所述的一种光谱显微成像装置的实现方法,其特征在于,步骤六中的αobj=αp=1,n=6。

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