[发明专利]一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置

权利要求书

1.一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，包括底座（1）、导轨定位板（2）、基圆盘定位挡板（3）、纯滚动组件（4）、导轨（5）、镜组（6）、连接桥（7）、微位移传递装置（8）、测头夹具（9）、侧板（10）、铜垫片（11）、激光干涉仪（12）、云台（13）、连接轴（14）和紧定螺钉（15）；

所述基圆盘定位挡板（3）安装于底座（1）上，基圆盘定位挡板（3）的基准面与导轨工作面垂直，起到限定纯滚动组件的滚动方向的作用；

测头夹具安装面（9-1）与连接桥定位面A（7-1）贴合装配，测头夹具内孔（9-3）安装微位移传递装置（8）；测头夹具中间设有一直径大于微位移传递装置外径的测头夹具内孔（9-3），测头夹具外周沿轴线方向加工有一定位平面，便于测头夹具在连接桥（7）上的安装与定位；测头夹具外圆柱面对称位置设有U型槽（9-2），测头夹具安装面的对侧设有一通槽（9-4），测头夹具通槽两侧分别设有沉头孔和螺纹孔；测头夹具内孔（9-3）轴线与测头夹具安装面（9-1）之间的平行度误差不大于1μm；

连接桥（7）通过两侧安装的侧板（10）固定到两个具有倒锥结构的导轨（5）上，连接桥安装面（7-3）与导轨工作面贴合；镜组中的缩光镜（6-1）朝着激光干涉仪（12）的方向，镜组中的干涉镜（6-3）安装面与连接桥定位面B（7-2）贴合，通过紧定螺钉固定镜组到连接桥上；连接桥定位面B（7-2）为镜组的安装定位面，连接桥定位面A（7-1）为微位移传递装置（8）的安装定位面，两者之间的平行度误差不大于1μm，以确保镜组（6）和微位移传递装置（8）的精确安装；

连接轴（14）一端安装于底座（1）上，另一端为带轴肩的圆柱，用于云台（13）的安装，通过调整轴肩的厚度，以调整激光干涉仪（12）出光孔相对于导轨工作面的距离；

通过研磨测头夹具安装面（9-1）、连接桥安装面（7-3）、连接桥定位面A（7-1）或连接桥定位面B（7-2），控制调整微位移传递装置（8）的轴线与导轨（5）工作面之间的位姿关系，实现微位移传递装置（8）中测头测点位置的精确调整。

2.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，连接桥定位面A（7-1）、连接桥定位面B（7-2）与连接桥安装面（7-3）两端面之间的尺寸预留0.005mm的余量，根据实际安装情况采用研磨的工艺调节尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，所述通槽（9-4）的宽度为2mm。

4.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，所述导轨（5）外侧与侧板间放置铜垫片（11），防止紧定螺钉（15）损伤导轨。

5.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，所述基圆盘定位挡板（3）的基准面平面度为不大于2μm。

6.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，装置中光路覆盖的部分设置防尘盖，阻隔外界灰尘、噪声或空气波动对激光的影响，提高测量精度。

7.根据权利要求1所述的一种齿轮渐开线样板齿廓偏差的激光测量装置，其特征在于，激光干涉仪（12）安装时，镜头中心线平行于测头夹具（9）的轴线，且位于两个导轨（5）的对称中心，确保激光干涉仪（12）出光孔中心线与镜组中的缩光镜（6-1）缩光口中心线重合，使激光顺利通过镜组（6）照射到微位移传递装置（8）中的靶镜和固定反射镜（6-4）。