[发明专利]一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法有效
申请号: | 202110734446.7 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN113540270B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 严文生;臧月;王宇;吴秋轩;林伟杰;辛青;李懿霖;林君 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/0392;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 获得 平整 均匀 致密 钙钛矿 薄膜 方法 | ||
1.一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于,该方法具体包括以下步骤:
步骤一:采用旋涂法制备CsPbBr3钙钛矿薄膜;
用丙酮、乙醇和去离子水依次对衬底进行超声波清洗;
将PbBr2和N,N-二甲基甲酰胺混合溶液以2000-3500rpm的转速旋涂在衬底表面30-40秒,衬底表面生成第一层膜;其中混合溶液中PbBr2的含量为1-1.5M;
将PbBr2和N,N-二甲基甲酰胺混合溶液以3500-4000rpm的转速旋涂在第一层膜上20-30秒,其中混合溶液中PbBr2的含量为0.8-1M;
将制备好的膜浸于CsBr和甲醇的混合溶液中10-15分钟,用异丙醇漂洗,在空气中旋转干燥,在热板上加热至200~250℃,保持5-8分钟,形成CsPbBr3薄膜层;其中CsBr和甲醇的混合溶液中CsBr的浓度为0.07-0.09M;
步骤二:将步骤一得到的CsPbBr3薄膜层放入压印腔内的样品台上,将压印腔抽真空至(1~5)*10-5Pa;将CsPbBr3薄膜层加热到在30-60摄氏度,通过移动活动压柱及施加压力到CsPbBr3薄膜层上;压力范围为20000-45000牛顿;压印时间为10-20分钟;
步骤三:将CsPbBr3薄膜层降温到常温后,取出,获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于:所述的PbBr2和N,N-二甲基甲酰胺混合溶液中PbBr2的含量为1.3M。
3.根据权利要求1所述的一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于:所述的CsBr和甲醇的混合溶液中CsBr的浓度为0.08M。
4.根据权利要求1所述的一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于:压印腔抽真空度为3*10-5Pa。
5.根据权利要求1所述的一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于:活动压柱的压力为32000牛顿。
6.根据权利要求1所述的一种获得平整、均匀、致密钙钛矿薄膜的方法,其特征在于:所述的衬底为玻璃衬底。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州电子科技大学,未经杭州电子科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110734446.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的