[发明专利]冷却装置及其冷却方法

权利要求书

1.一种冷却装置，应用于蒸镀设备，其特征在于，所述冷却装置包括：

主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；

弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧，所述弹性部件用于与待冷却构件接触；

其中，所述弹性部件与所述主体部件围成闭合的腔体结构，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，在所述中心区内，所述弹性部件包括向远离所述冷却装置方向突出的曲面。

3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括连接于所述主体部件与所述弹性部件之间的可拆卸连接部件，所述可拆卸连接部件搭接在所述主体部件及所述弹性部件上。

4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，在俯视视角，所述主体部件的形状为矩形，所述进气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的任一角，所述出气管路在所述主体部件上的正投影靠近所述矩形的几何中心。

5.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，任一所述进气管路位于所述腔体内的长度大于任一所述出气管路位于所述腔体内的长度。

6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括位于所述腔体内的距离传感单元，所述距离传感单元靠近所述弹性部件一侧，所述弹性部件包括透明材料。

7.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述冷却装置还包括位于所述主体部件远离所述弹性部件一侧的磁体部件，在所述磁体部件的边缘至所述磁体部件的中心的方向上，所述磁体部件的磁感应强度逐渐增大。

8.一种利用冷却装置的冷却方法，其特征在于，所述冷却装置应用于蒸镀设备，所述冷却装置包括：主体部件，包括支撑构件和与所述支撑构件连接的热交换构件；弹性部件，与所述主体部件连接且设置于所述主体部件远离所述热交换构件的一侧；其中，所述弹性部件与所述主体部件围成闭合的腔体结构；所述冷却方法包括：

提供一掩膜版；

将基板与所述掩膜版对位贴合；

将所述冷却装置的所述弹性部件一侧与所述基板对位贴合，所述冷却装置包括中心区及位于所述中心区外围的边缘区，在所述边缘区至所述中心区的方向上，所述弹性部件的厚度逐渐减小，所述热交换构件包括多个进气管路和多个出气管路，任一所述进气管路及任一所述出气管路与所述腔体连通；

利用所述热交换构件，将冷却气体充入所述冷却装置内，以使所述弹性部件向远离所述冷却装置的方向突出。