[发明专利]一种晶圆光刻加工用湿法清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆光刻加工用湿法清洗设备，其结构包括底箱(1)、主体(2)、控制面板(3)，所述底箱(1)的顶端设有主体(2)，所述控制面板(3)设置在主体(2)的正前端，其特征在于：

所述主体(2)包括滑动槽(21)、清洗设备(22)、喷水管(23)、支撑座(24)，所述滑动槽(21)设有两个，且分别位于主体(2)的内部两端，所述清洗设备(22)卡合于滑动槽(21)中，所述喷水管(23)设有两个且分别位于主体(2)的左右两端，所述支撑座(24)设置在主体(2)的底部正中间；

所述清洗设备(22)包括卡合轴(221)、复位弹簧(222)、清洗装置(223)、固定框(224)，所述卡合轴(221)的侧端嵌固有复位弹簧(222)，所述复位弹簧(222)设有八个，且以两个为一组呈环绕状排列，所述清洗装置(223)设有八个，且以两个为一组，排列于两组复位弹簧(222)之间，所述固定框(224)设有四个，且将每组复位弹簧(222)与清洗装置(223)的末端相连接；

所述清洗装置(223)包括连接杆(a1)、转轴(a2)、刷洗装置(a3)，所述连接杆(a1)设有两个，且两个连接杆(a1)之间相互卡合，所述转轴(a2)将两个连接杆(a1)之间相连接，所述刷洗装置(a3)设有四个以上，且横向排列于连接杆(a1)的底部；

所述刷洗装置(a3)包括固定座(a31)、活动槽(a32)、拉伸弹簧(a33)、刷洗头(a34)，所述固定座(a31)的内部设有活动槽(a32)，所述活动槽(a32)的内部设有拉伸弹簧(a33)，所述拉伸弹簧(a33)设有两个，且呈横向排列，所述刷洗头(a34)卡合于活动槽(a32)的内部；

所述刷洗头(a34)包括卡合头(b1)、毛刷(b2)、变形槽(b3)，所述卡合头(b1)卡合于活动槽(a32)，所述毛刷(b2)设有十个以上，且横向排列于卡合头(b1)的底部，所述变形槽(b3)设有三个，且垂直排列在毛刷(b2)的左侧；

所述固定框(224)包括落水槽(c1)、进水端口(c2)、导水块(c3)、导水片(c4)、分流片(c5)、分流块(c6)，所述落水槽(c1)设置在固定框(224)的内部正中间，所述进水端口(c2)设置在落水槽(c1)的顶端，所述导水块(c3)嵌固在进水端口(c2)的顶部后端，所述导水片(c4)设有四个，且垂直排列于落水槽(c1)的内部左侧，所述分流片(c5)垂直镶嵌在落水槽(c1)的内部右侧，所述分流块(c6)安装在分流片(c5)的底部正中间；

所述分流块(c6)包括分流体(c61)、进水槽(c62)、蓄水槽(c63)、喷淋孔(c64)、下淋孔(c65)、导水块(c66)，所述分流体(c61)的两端设有进水槽(c62)，所述进水槽(c62)的宽度由外端向内端逐渐缩小，所述蓄水槽(c63)设置在两个进水槽(c62)的内部，所述喷淋孔(c64)设有四个以上，且横向排列于分流体(c61)的右侧端面，所述导水块(c66)嵌固在分流体(c61)的左端；

所述导水块(c66)包括导水体(d1)、导水槽(d2)、蓄流槽(d3)，所述导水体(d1)的底部端面为圆弧状，所述导水槽(d2)设有三个，且横向排列于导水体(d1)的端面，所述蓄流槽(d3)设置在导水槽(d2)的内部底端。