[发明专利]嵌套式扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种嵌套式扫描探针显微镜，包括壳体(1)，其特征在于，还包括沿一轴向依次同轴套设的步进马达、绝缘管(3)、绝缘配重框(4)以及扫描头(5)；其中，

所述步进马达安装于所述壳体内壁，所述绝缘管周向设置于所述步进马达内壁上；所述绝缘配重框的外壁与所述绝缘管之间设有弹性件(7)，所述绝缘配重框通过所述弹性件受力与所述绝缘管内壁滑动配合；所述扫描头安装于所述绝缘配重框上且具有一测试端(50)，所述测试端包括用于扫描样品的探针(9)；

所述步进马达用以驱动所述绝缘配重框及所述扫描头沿所述轴向步进。

2.根据权利要求1所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述步进马达具有相对设置的一固定端(10)和一自由端(11)；所述绝缘管周向设置于所述自由端的内壁上；所述绝缘配重框包括连接部(41)和滑动部(42)，所述滑动部通过所述弹性件沿所述轴向滑动配合于所述绝缘管内；所述扫描头安装于所述连接部上。

3.根据权利要求2所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述扫描头的测试端对应所述自由端。

4.根据权利要求3所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，样品位于所述自由端一侧并与所述探针间隔设置。

5.根据权利要求3所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述探针位于所述自由端一侧并与样品间隔设置。

6.根据权利要求2所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述扫描头的测试端对应所述固定端，样品位于所述固定端。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述步进马达为压电管、由多个压电片堆叠而成的压电堆栈中的任一种。

8.根据权利要求1所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述步进马达为三摩擦力步进马达，所述绝缘管周向均匀设置于所述步进马达内壁上。

9.根据权利要求1所述的嵌套式扫描探针显微镜，其特征在于，所述步进马达外壁与所述壳体固定连接；所述绝缘管与所述步进马达内壁固定连接；所述扫描头与所述绝缘配重框固定连接。