[发明专利]一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板

权利要求书

1.一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，包括光阴极镀层(1)和n阶MCP，所述n为≥4的偶数；所述光阴极镀层(1)设于第1阶MCP的光入射面；

所述第1阶MCP的微通道斜切角为0°，用于将通过光阴极镀层(1)的电子束进行准直；第i阶MCP与第i+1阶MCP的微通道斜切角的绝对值相等且正负相反，2≤i≤n-2且i为偶数，用于对通过第1阶MCP的电子束进行多次倍增；所述第n阶MCP的微通道斜切角为0°，用于使通过第n-1阶MCP的电子束进行准直。

2.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，第i阶MCP和第i+1阶MCP的微通道斜切角的绝对值为3°～15°范围内的任意值。

3.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，第2～n-1阶MCP中，各偶数阶MCP的微通道斜切角的正负相同，各奇数阶MCP的微通道斜切角的正负相同。

4.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，第2～n-1阶MCP的微通道斜切角的绝对值相等。

5.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，第1～n-1阶MCP中，每阶MCP的光入射面和光出射面均为向光入射方向凸起的曲面；第n阶MCP的光入射面为向光入射方向凸起的曲面，光出射面为平面。

6.根据权利要求5所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，第1～n-1阶MCP中，每阶MCP的光入射面和光出射面的曲率半径不相等；

所述第1～n阶的光入射面曲率半径相等，第1～n-1阶的光出射面的曲率半径相等。

7.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，所述各阶MCP的微通道外径为50～80mm，长径比为35:1-80:1。

8.根据权利要求1所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于各阶MCP通过叠放耦合在一起，各阶MCP曲率中心共轴。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，所述n＝4；第1阶MCP(2)、第2阶MCP(3)、第3阶MCP(4)、第4阶MCP(5)的微通道斜切角分别为0°、+(3°～15°)、-(3°～15°)、0°。

10.根据权利要求5所述的一种用于地球等离子层极紫外光探测的多阶曲面微通道板，其特征在于，所述n阶MCP的曲面方法包括以下步骤：

S1利用磨头对毛坯板切片进行研磨加工，磨头的曲率半径与代加工MCP的曲率半径相匹配；

S2利用光学玻璃抛光液进行抛光。