[发明专利]一种二维模态兰姆波谐振结构、包含其的兰姆波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，包括：

压电振动层，

位于压电振动层上表面的梳齿电极，及

位于压电振动层下表面的底部金属电极；

所述压电振动层的两个横向边界均超出底部金属电极的两个横向边界，且外延边界距离d为2-2.1倍的电极周期间距p，其中外延边界距离d表示压电振动层每侧的横向边界超出该侧的底部金属电极的横向边界的距离。

2.根据权利要求1所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述压电振动层两侧的外延边界距离d相同。

3.根据权利要求1所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述外延边界距离d均为2倍的电极周期间距p。

4.根据权利要求1所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述压电振动层的横向边界倾角为90°。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述压电振动层纵向的两边界分别突出于所述底部金属电极的纵向两边界，优选突出2μm。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，

所述梳齿电极的材质为金属铝，其中，梳齿电极的宽度w为2μm，电极周期间距p为4μm，电极个数为20。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述压电振动层为氮化铝薄膜，厚度为1μm。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的二维模态兰姆波谐振结构，其特征在于，所述底部金属电极为的材质为金属铂，且具有平板结构。

9.一种二维模态兰姆波谐振器，其特征在于，包括衬底和权利要求1-8中任一项所述的二维模态兰姆波谐振结构。

10.权利要求9所述的二维模态兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

步骤1、在衬底上形成底部金属电极以及底部焊盘，得到谐振器第一子结构；

步骤2、在所述谐振器第一子结构上形成压电材料层，得到谐振器第二子结构；

步骤3、在所述谐振器第二子结构上形成所述梳齿电极以及顶部焊盘，得到谐振器第三子结构；

步骤4、刻蚀所述谐振器第三子结构上的压电材料层，以在所述谐振器第三子结构上形成释放窗口并暴露出所述底部焊盘，从而得到谐振器第四子结构，其中所述释放窗口暴露出所述衬底，且其包围的压电材料层形成压电振动层；

步骤5、通过所述释放窗口对所述谐振器第四子结构的底部金属电极下方的衬底进行刻蚀，以去除底部金属电极下方的衬底而形成空气腔，得到所述二维模态兰姆波谐振器。