[发明专利]一种热压印装置以及热压印方法

权利要求书

1.一种热压印装置，用于对非晶材料进行模压，其特征在于，所述热压印装置包括：具有加热室并用于加热所述非晶材料的加热炉、位于所述加热室的模座、开设有微纳结构的下模具、重力组件以及与所述下模具配合的上模具，所述模座、所述下模具、所述上模具以及所述重力组件从下往上依次层叠堆放，所述下模具设有朝上设置的模压面，所述模压面水平布置且开设有所述微纳结构，所述非晶材料位于所述下模具和所述上模具之间且抵接所述微纳结构，所述重力组件堆放于所述上模具，以使所述上模具下压所述下模具。

2.如权利要求1所述的热压印装置，其特征在于：所述重力组件包括堆放于所述上模具的熔融硅板以及堆放于所述熔融硅板上的施压件。

3.如权利要求2所述的热压印装置，其特征在于：所述上模具设有第一支撑面，所述第一支撑面朝上且水平布置，所述熔融硅板堆放于所述第一支撑面；所述第一支撑面与所述熔融硅板朝向所述第一支撑面设置的板面之间的平行度小于10弧秒。

4.如权利要求1所述的热压印装置，其特征在于：所述模座具有朝下且水平布置的第二支撑面和朝上且水平布置的第三支撑面，所述第二支撑面抵接所述加热室的内壁，而所述下模具抵接所述第三支撑面。

5.如权利要求4所述的热压印装置，其特征在于：所述模座是由碳化硅制成的模座，且所述第二支撑面和所述第三支撑面均经抛光处理。

6.如权利要求4所述的热压印装置，其特征在于：所述热压印装置还包括隔热块，所述隔热块设置于所述加热室，所述模座堆放于所述隔热块，且所述第三支撑面抵接所述隔热块。

7.如权利要求1-6任意一项所述的热压印装置，其特征在于：所述热压印装置还包括抽真空结构，所述抽真空结构用于抽离所述加热室内的气体。

8.如权利要求7所述的热压印装置，其特征在于：所述抽真空结构包括用于抽离气体的真空泵以及用于测量所述加热室内的真空度的真空计，所述真空计连接所述加热炉。

9.如权利要求1-6任意一项所述的热压印装置，其特征在于：所述热压印装置还包括调节支撑脚以及铺设于地面隔振垫，所述加热炉通过多个调节支撑脚而设置于所述隔振垫，所述调节支撑脚用于调节所述加热炉的位置，以使所述模压面的水平布置。

10.一种热压印方法，其特征在于，用于模压非晶材料，包括如下步骤：

准备加热炉、模座、下模具、重力组件以及上模具；

所述加热炉具有加热室并用于加热所述非晶材料，将所述模座放置于所述加热室；

所述下模具设有朝上设置的模压面，将所述模压面水平布置且于所述模压面上开设微纳结构；

将所述模座、所述下模具以及所述上模具从下往上依次层叠堆放，所述非晶材料位于所述下模具和所述上模具之间且抵接所述微纳结构；

将所述重力组件堆放于所述上模具，以使所述上模具下压所述下模具。