[发明专利]阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件

权利要求书

1.一种阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器，其特征在于，包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；

所述多个串联的薄膜体声波谐振器包括串联连接在所述输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器；

所述多个并联的薄膜体声波谐振器包括第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器、第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器，所述第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器的一端分别连接在所述多个串联的薄膜体声波谐振器中相邻的两个薄膜体声波谐振器之间的节点上；所述第六薄膜体声波谐振器的一端连接所述第七薄膜体声波谐振器的一端；所述第五薄膜体声波谐振器、第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子；

所述第一薄膜体声波谐振器至所述第四薄膜体声波谐振器的中心与所述输入端子和所述输出端子所在的第一直线的距离小于阈值；所述第一薄膜体声波谐振器与所述第五薄膜体声波谐振器的中心连线位于第二直线上，所述第二薄膜体声波谐振器、所述第六薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的中心连线位于第三直线上，所述第四薄膜体声波谐振器和所述第八薄膜体声波谐振器的中心连线位于第四直线上；所述第二直线、所述第三直线和所述第四直线分别相互平行；

所述薄膜体声波谐振器滤波器的版图包括第一版图区至第十三版图区；

第一版图区、第三版图区和第五版图区为接地端子版图区，第二版图区为输入端子版图区，第四版图区为输出端子版图区，所述第三版图区位于所述滤波器的版图的上部，所述第一版图区和第五版图区、所述第二版图区和第四版图区分别对称设置在所述滤波器的版图的两边；

第六版图区、第七版图区、第八版图区和第九版图区分别为所述第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器的版图区；所述第六版图区、第七版图区、第八版图区和第九版图区分别串联连接在所述第二版图区和第四版图区之间；

第十版图区、第十一版图区、第十二版图区和第十三版图区分别为所述第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器、第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器的版图区；

所述第十版图区位于所述第六版图区下部，且一端分别与所述第六版图区和第七版图区连接，另一端与所述第一版图区连接；

所述第十一版图区位于所述第七版图区上部，且一端分别与所述第七版图区和第八版图区连接，另一端与所述第十二版图区连接；所述第十二版图区的另一端与所述第三版图区连接；

所述第十三版图区位于所述第九版图区下部，且一端分别与所述第八版图区和第九版图区连接，另一端与所述第五版图区连接。

2.如权利要求1所述的阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；所述多个并联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

3.如权利要求1或2所述的阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器，其特征在于，所述多个串联的薄膜体声波谐振器的串联谐振频率和所述多个并联的薄膜体声波谐振器的并联谐振频率相同。

4.如权利要求1所述的阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器，其特征在于，所述第一薄膜体声波谐振器和所述第四薄膜体声波谐振器的面积为4470μm²-4530μm²，所述第二薄膜体声波谐振器和所述第三薄膜体声波谐振器的面积为3470μm²-3530μm²，所述第五薄膜体声波谐振器和所述第八薄膜体声波谐振器的面积为4970μm²-5030μm²，所述第六薄膜体声波谐振器和所述第七薄膜体声波谐振器的面积为3970μm²-4030μm²。

5.如权利要求1所述的阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器滤波器的版图主要包括牺牲层、下电极层、上电极层、差频层和孔层，所述差频层与所述多个并联的薄膜体声波谐振器对应，所述多个串联的薄膜体声波谐振器不具有所述差频层。