[发明专利]阶梯型结构窄带FBAR滤波器

说明书

本发明涉及滤波器技术领域，提供了一种阶梯型结构窄带FBAR滤波器，上述滤波器包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；多个串臂谐振器包括：依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器至第六谐振器；多个并臂谐振器包括：第七谐振器至第十二谐振器；第七谐振器，第一端与第一谐振器和第二谐振器的连接点连接，第二端通过第十谐振器与接地端连接；第八谐振器，第一端与第三谐振器和第四谐振器的连接点连接，第二端通过第十一谐振器与接地端连接；第九谐振器，第一端与第五谐振器和第六谐振器的连接点连接，第二端通过第十二谐振器与接地端连接。本发明提供的滤波器可允许特定频率的信号通过。

技术领域

本发明属于滤波器技术领域，尤其涉及一种阶梯型结构窄带FBAR滤波器。

背景技术

近年来，随着5G无线通信技术的不断发展，通过利用更高频段以及频段重组来实现移动通信，这对相关射频元器件的微型化、高频带宽化、集成化及柔性化提出了越来越高的要求。

薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)滤波器凭借其尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，正逐步取代传统的声表面波滤波器和陶瓷滤波器，在射频滤波器领域占有越来越大的市场份额，在5G无线通信射频领域发挥着巨大作用。

然而目前对FBAR滤波器的研究大多集中在制备方法上，对FBAR滤波器的具体结构的研究较少。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种阶梯型结构窄带FBAR滤波器，以提供一种FBAR滤波器的新型结构。

本发明实施例第一方面提供了一种阶梯型结构窄带FBAR滤波器，包括：输入端、输出端、接地端、多个串臂谐振器和多个并臂谐振器；

多个串臂谐振器包括：依次串联连接在输入端和输出端之间的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器、第四谐振器、第五谐振器及第六谐振器；

多个并臂谐振器包括：第七谐振器、第八谐振器、第九谐振器、第十谐振器、第十一谐振器及第十二谐振器；

第七谐振器，第一端与第一谐振器和第二谐振器的连接点连接，第二端通过第十谐振器与接地端连接；

第八谐振器，第一端与第三谐振器和第四谐振器的连接点连接，第二端通过第十一谐振器与接地端连接；

第九谐振器，第一端与第五谐振器和第六谐振器的连接点连接，第二端通过第十二谐振器与接地端连接；

其中，多个串臂谐振器及多个并臂谐振器的面积的取值范围均为4000μm²-80000μm²。

可选的，多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同。

可选的，第七谐振器、第八谐振器及第九谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，第十谐振器、第十一谐振器及第十二谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同，且第七谐振器与第十谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率均不同。

可选的，第七谐振器、第八谐振器及第九谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率，与多个串臂谐振器的串联谐振频率和并联谐振频率相同；

第十谐振器的并联谐振频率与第一谐振器的串联谐振频率相同。