[发明专利]一种SiC纤维增强难熔合金复合材料及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种SiC纤维增强难熔合金复合材料，其特征在于，包括带有C涂层的连续SiC纤维、设置在带有C涂层的连续SiC纤维表面的多层扩散障涂层和设置在多层扩散障涂层表面的难熔合金层；

所述多层扩散障涂层包括若干个扩散障单元，单个扩散障单元包括金属层和设置在金属层表面的金属氮化物层；所述扩散障单元的个数≥1，当所述扩散障单元的个数＞1时，各个扩散障单元叠加设置；

所述金属层和金属氮化物层中的金属元素为过渡族金属。

2.根据权利要求1所述的复合材料，其特征在于，所述难熔合金层为NbW、TaW和NbTaW中的一种。

3.根据权利要求1所述的复合材料，其特征在于，所述金属层的厚度为20～1000nm；所述金属氮化物层的厚度为20～1000nm。

4.根据权利要求1所述的复合材料，其特征在于，所述扩散障涂层的总厚度为2～5μm，所述多层扩散障涂层中扩散障单元的个数为1～100个。

5.根据权利要求1～4任一项所述的SiC纤维增强难熔合金复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)在氩气条件下，采用过渡金属为靶材，在带有C涂层的连续SiC纤维表面进行磁控溅射，得到金属层；

(2)在氮气-氩气混合气体条件下，采用过渡金属为靶材，在所述金属层表面进行磁控溅射，得到金属氮化物层；

(3)依次重复磁控溅射制备金属层和磁控溅射制备金属氮化物层的步骤，重复次数≥0次，得到多层扩散障涂层；

(4)在氩气条件下，采用难熔金属为靶材，在所述多层扩散障涂层表面进行磁控溅射，得到SiC纤维增强难熔合金复合材料。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)、(2)和(4)中氩气的通入量为50～80sccm。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中氮气和氩气流速比为50～80:5～40。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)和(2)中磁控溅射的参数独立地包括：工作压强为0.2～2Pa，溅射偏压为-50～-150V。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中磁控溅射的参数包括：工作压强为0.2～2Pa，溅射偏压为-50～-150V，沉积电流为1～2A。

10.权利要求1～4任一项所述的SiC纤维增强难熔合金复合材料或者权利要求5～9任一项所述制备方法得到的SiC纤维增强难熔合金复合材料在耐高温材料中的应用。