[发明专利]自动物料传输系统及自动化物料传输方法

说明书

本发明提供了一种自动物料传输系统及自动化物料传输方法，包括机台、终端设备、天车和自动搬送轨道，所述天车为多个且用于在所述自动搬送轨道上运行，所述终端设备用于控制晶圆的自动化加工，每个所述天车能够将其位置信息发送给所述终端设备，所述终端设备可根据各所述天车所发送的位置信息获取天车的拥堵状态。本发明可提升天车在各机台之间的搬运效率，并同时提高各机台装载端口的使用率，进而可提高物料的搬运效率，降低天车的堵车风险，提高产能。

技术领域

本发明涉及物料输送技术领域，特别涉及一种自动物料传输系统及自动化物料传输方法。

背景技术

在半导体制造领域中，自动物料传输系统(简称AMHS)使用比较方便。AMHS通常采用天车在各机台之间对晶圆进行搬送，若有些机台的加工任务没有完成，则需先将待加工的晶圆送至晶圆暂存区，等待正在加工的晶圆加工完毕后，再由天车将待加工的晶圆在机台和晶圆暂存区之间进行搬送。AMHS在搬送过程中经常发生拥堵现象，为解决上述拥堵问题，AMHS通常需要获取各天车的拥堵情况并进行改善优化，以保证各天车能够准确高效的完成搬送任务。

现有的AMHS仅能监控各天车实时的运行位置，但当天车发生拥堵时，AMHS无法做到实时显示天车的具体拥堵位置，并无法获知天车的拥堵时间、拥堵次数等拥堵信息，从而会使各机台装载端口的使用率下降，降低天车在各机台之间的搬运效率，同时降低整个自动物料传输系统的搬运效率。

发明内容

为解决现有技术中存在的技术问题，本发明的目的在于提供一种自动物料传输系统以及自动化物料传输方法，能够获取天车运行过程中位置信息，从而获取天车的拥堵位置，以提高物料的搬运效率。

为实现上述目的，本发明提供一种自动物料传输系统，包括机台、终端设备、天车和自动搬送轨道；所述天车为多个并用于运行在所述自动搬送轨道上以搬送晶圆；所述终端设备用于控制晶圆的自动化加工；多个所述天车与所述终端设备通信连接；多个所述天车用于将其位置信息发送给所述终端设备；所述终端设备用于根据多个所述天车所发送的位置信息获取天车的拥堵状态，所述拥堵状态包括拥堵位置。

可选的，所述终端设备还用于根据多个所述天车所发送的位置信息建立一点阵布局图，并根据所述点阵布局图显示所述天车的拥堵位置。

可选的，多个所述天车还用于将其运行信息发送给所述终端设备，所述终端设备还用于根据所述天车的运行信息获取天车的拥堵时间和/或拥堵次数。

可选的，所述终端设备用于根据所述天车所发送的位置信息得到天车的位置坐标信息，所述位置坐标信息包括X坐标值和Y坐标值，所述终端设备用于根据多个所述天车的位置坐标信息建立所述点阵布局图。

可选的，所述自动物料传输系统还包括位置记录装置和位置检测装置，所述自动搬送轨道上的各区域设置有所述位置记录装置，所述天车上设置有所述位置检测装置，所述位置检测装置用于识别所述位置记录装置的信息来获取天车的位置信息。

可选的，所述位置记录装置包括条形码，所述自动搬送轨道上的各区域设置有不同的条形码，所述位置检测装置为用于读取所述条形码的扫描装置，所述条形码所记载的位置信息包括天车的地址信息，所述地址信息对应于天车的型号和位置。

可选的，所述终端设备用于根据所述自动搬送轨道上的所有条形码所记录的坐标信息建立一初始布局图，并还用于根据所述位置检测装置所扫描的天车当前所处位置的条形码解析得到天车的位置坐标信息，再根据多个所述天车的位置坐标信息，在所述初始布局图中形成所述点阵布局图。

为实现上述目的，本发明还提供一种自动化物料传输方法，采用所述的自动物料传输系统，所述自动化物料传输方法包括：在物料传输过程中，多个天车实时地将位置信息发送给终端设备，所述终端设备根据多个所述天车的位置信息获取天车的拥堵状态。