[发明专利]一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置在审

专利信息
申请号: 202110748798.8 申请日: 2021-07-02
公开(公告)号: CN113448183A 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 耿克涛;刘金 申请(专利权)人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
主分类号: G03F7/26 分类号: G03F7/26;F25D17/02;F25D17/06
代理公司: 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 代理人: 胡小永
地址: 315400 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 显影 热处理 模块 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置,其特征在于,所述用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置包括匀胶显影机机箱(1),匀胶显影机机箱(1)内包括三个竖向柜(2),每个竖向柜(2)的内部均设有沿着每个竖向柜(2)竖直方向等间距分布的热处理单元模块(3);

水冷却机构(4),其数量与热处理单元模块(3)的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块(3)的底部,每个水冷却机构(4)均包括与热处理单元模块(3)底部固定的水冷板底板(5),用以将热处理单元模块(3)进行水冷降温处理;

通风机构(6),其数量与热处理单元模块(3)的数量相同且一一对应的设置在每个热处理单元模块(3)的上方,每个通风机构(6)均包括进风通道(7)和排风通道(8),进风通道(7)与排风通道(8)左右对称的设置在热处理单元模块(3)的上方两侧;

恒温器(9),设置在匀胶显影机机箱(1)的后侧,恒温器(9)通过导向水管与每个水冷却机构(4)的内部连通;

总进风管道(10),设置在匀胶显影机机箱(1)的顶部,总进风管道(10)通过第一竖直管道(11)与每个进风管道的内部连通;

鼓风机(12),设置在匀胶显影机机箱(1)的侧壁上,鼓风机(12)的工作端与总进风管道(10)的一端连通;

总出风管道(13),设置在匀胶显影机机箱(1)的顶部,,总出风管道(13)通过第二竖直管道(14)与每个出风管道内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置,其特征在于,每个竖向柜(2)均包括有左侧板(15)和右侧板(16),左侧板(15)与右侧板(16)均中空结构,右侧板(16)的内部设置有与每个进风通道(7)一一对应的导风通道(17),第一竖直管道(11)竖直位于右侧板(16)内部一侧,第一竖直管道(11)通过延伸管(18)与每个导风通道(17)的内部连通,第一竖直管的顶部与总进风通道(7)的内部连通。

3.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置,其特征在于,每个进风通道(7)均包括:

矩形通道(19),贴合设置在竖向柜(2)的内侧壁上,矩形通道(19)的内部开设有与导风通道(17)内部连通的进风通口(20),矩形通道(19)靠近热处理模块的一面为敞开结构。

叶片(21),具有若干个,所有叶片(21)沿着矩形通道(19)的竖直方向能够翻转的均布设置在矩形通道(19)的敞开端,每个叶片(21)的两端均通过第一转杆与矩形通道(19)的内部两侧轴接。

4.根据权利要求3所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置,其特征在于,每个进风通道(7)还均包括:

齿条(22),呈竖直位于矩形通道(19)的一侧,齿条(22)能够沿着矩形通道(19)的竖直方向上下移动;

齿轮(23),其数量与每个叶片(21)的数量相同且一一对应的位于每个叶片(21)的一侧,每个齿轮(23)的中心处均通过第二转杆与对应的叶片(21)的第一转杆传动连接,每个齿轮(23)均与齿条(22)啮合设置,用以驱动每个叶片(21)作翻转动作。

5.根据权利要求4所述的一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置,其特征在于,每个进风通道(7)还均包括:

滑轨(24),竖直位于齿条(22)的一侧,滑轨(24)的侧壁与矩形通道(19)的侧壁相连接;

轴承座(25),具有一对,分别设置在滑轨(24)的上下端;

螺杆(26),竖直位于两个轴承座(25)之间,螺杆(26)的两端分别与每个轴承座(25)的内圈轴接;

丝杆滑套(27),设置在螺杆(26)上,丝杆滑套(27)与螺杆(26)螺纹连接,丝杆滑套(27)远离滑轨(24)的一侧与齿条(22)的一侧相连接;

限位滑块(28),设置在丝杆滑套(27)靠近滑轨(24)的一侧,限位滑块(28)能够在滑轨(24)内限位滑动;

驱动电机(29),设置在两个轴承座(25)其中一个轴承座(25)的外壁上,驱动电机(29)的输出端与螺杆(26)的一端传动连接。

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