[发明专利]废气处理装置及其排气湿度控制方法

说明书

本申请提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。一种废气处理装置包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。本申请的废气处理装置通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以下。

技术领域

本发明涉及泛半导体技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。

背景技术

在半导体科学技术的发展中，半导体制程生产中会用到大量的有毒、腐蚀性强且易燃的特殊气体、化学品和有机溶剂等原材料，这些物质所产生的废气在冗长的排气过程中，因其气体性质可能会引发风管堵塞、管路腐蚀等，导致气体泄漏、火灾爆炸等事故，所以应先在就近的小型废气处理设备（Local Scrubber）进行处理，后再进入中央处理系统处理。

废气处理设备中会用到水给处理后的气体降温或者将溶于水的气体进行水溶处理。所以处理后的气体中会含有水分，如果气体湿度过大，当气体流经厂务排气管路时会冷凝形成水珠，使厂务排气管路存水。有腐蚀性水泄露的风险和厂务管道内部的水回流到废气处理装置的风险。

目前降低排气湿度的方式有增加气体吹扫和增加冷凝装置两种方式。

1）通过气体吹扫降低排气湿度，是在排气管路吹入大量的压缩空气，降低单位体积内气体的含水量，从而降低排气湿度，并未实际减少水汽含量，同时增加了气体的消耗量。

2）冷凝装置是在排气管通过冷却水（PCW）制造一个低于室温的环境，将气体中的水在废气处理装置内冷凝，方式排到厂务端，该方式对冷水流量要求大，降低气体湿度效果不是很明显。

在所述背景技术部分，公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术信息。

发明内容

本申请旨在提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气，能够将废气处理过程中的排气湿度控制在合理标准以下。

根据本申请的一方面，提出一种废气处理装置，包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。

根据一些实施例，所述废气处理装置还包括控制系统，所述控制系统控制所述调节阀的开度。

根据本申请的另一方面，提出一种废气处理装置的排气湿度控制方法，所述控制方法包括：标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系；根据所述对应关系对所述调节阀的开度进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内。

根据一些实施例，所述控制方法还包括：控制所述经过水洗后的气体的温度保持稳定。

根据一些实施例，所述标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系的步骤包括：在水洗过程中调节所述调节阀，直至所述湿度位于预先设定好的湿度区间的下限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第一开度；逐渐增大所述调节阀的开度，直至所述湿度达到位于预先设定好的湿度区间的上限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第二开度；根据所述第一开度、所述湿度区间的下限值、所述第二开度和所述湿度区间的上限值获得所述湿度区间内的所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系。