[发明专利]固晶机

权利要求书

1.一种固晶机，其特征在于，包括：

晶片供料机构，所述晶片供料机构设有取晶位置；

固晶台，所述固晶台活动设有移载台面以承载待加工基板，所述待加工基板设有固晶位置；以及，

固晶机构，所述固晶机构包括取晶镜头、可转动的摆臂以及可移动的固晶镜头，所述取晶镜头在二维取晶平面内的投影与所述取晶位置重合，所述固晶镜头在二维固晶平面内的投影与所述固晶位置重合，所述摆臂摆角为180°-θ,其中，90°θ0°；

其中，根据所述固晶位置的调整，所述固晶镜头移动至所述固晶位置，调节所述摆臂的目标极限位置与所述固晶位置匹配，所述摆臂动作将目标晶片由所述取晶位置移送至所述固晶位置；

所述晶片供料机构包括用以承载目标晶片的供料盘、运动机构以及角度补偿机构，所述角度补偿机构驱动所述供料盘转动，以将所述目标晶片转动至取晶角度，所述运动机构带动所述供料盘在二维固晶平面上运动，以将所述目标晶片移动至取晶位置；

所述角度补偿机构包括驱动件和传动件，所述传动件包括：

驱动轮，所述驱动轮与所述驱动件连接；

从动轮，所述从动轮与所述供料盘同步转动；

皮带，所述皮带环绕于所述驱动轮和所述从动轮；以及，

导向轮，所述导向轮活动设于所述驱动轮和所述从动轮之间，且所述导向轮抵接于所述皮带的外侧面；

所述运动机构包括第一驱动平台以及第二驱动平台，所述第一驱动平台以及所述第二驱动平台分别在两个相互垂直的方向上移动；所述供料盘连接于所述第二驱动平台，所述第二驱动平台又可移动地设于所述第一驱动平台。

2.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述待加工基板设有两个固晶位置，所述固晶镜头设置为两个，两个所述固晶镜头在二维固晶平面上的间距可调，以调节两个所述固晶位置的间距。

3.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述固晶机构包括移载架，所述固晶镜头设有动作机构，所述动作机构包括：

第一移载平台，所述移载架设有第一滑轨，所述第一移载平台滑动设于所述第一滑轨；以及，

第二移载平台，所述固晶镜头设于第二移载平台，所述第一移载平台设有垂直于所述第一滑轨的第二滑轨，所述第二移载平台滑动设于所述第二滑轨。

4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述第一移载平台设有第一丝杆机构，所述第一丝杆机构动作驱动所述第一移载平台滑动，所述第二移载平台设有第二丝杆机构，所述第二丝杆动作驱动所述第二移载平台滑动。

5.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述固晶台包括第三驱动平台以及第四驱动平台，所述第三驱动平台以及所述第四驱动平台分别在两个相互垂直的方向上移动；所述固晶台的载台连接于所述第四驱动平台，所述第四驱动平台又可移动地设于所述第四驱动平台，以将所述移载台面上待加工基板的目标区域移入所述固晶位置。

6.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述取晶镜头通过调节座设于所述固晶机构，且所述调节座的活动轨迹和所述摆臂的自由端的转动轨迹一致。

7.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于，所述调节座设有第一调节螺栓、第二调节螺栓以及第三调节螺栓，所述第一调节螺栓、所述第二调节螺栓以及所述第三调节螺栓两两垂直设置。