[发明专利]晶圆颗粒的质量等级确定方法和装置

权利要求书

1.一种晶圆颗粒的质量等级确定方法，其特征在于，包括：

获取多个晶圆颗粒的分bin结果，每个晶圆颗粒的分bin结果包括晶圆颗粒的标识、bin的类型、各bin的取值和数据标签；

根据所述分bin结果确定至少两个重要bin，所述重要bin为对晶圆颗粒的质量影响较大的bin；

根据所述重要bin的取值形成多个bin组合，每个bin组合由所述重要bin组成，且任意两个bin组合中有至少一个重要bin的取值不同；

根据所述多个晶圆颗粒的分bin结果，确定每个bin组合的无效晶圆颗粒的百万分率PPM以及PPM的置信区间最大值；

根据所述多个bin组合的PPM的置信区间最大值的大小，确定每个bin组合对应的晶圆颗粒质量等级；

将待分类晶圆颗粒的各bin值，与所述多个bin组合进行匹配，将匹配成功的目标bin组合对应的晶圆颗粒质量等级确定为所述待分类晶圆颗粒的质量等级。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述多个bin组合的PPM的置信区间最大值的大小，确定每个bin组合对应的晶圆颗粒质量等级，包括：

根据所述多个bin组合的置信区间最大值的大小对所述多个bin组合进行排序；

将排序后的所述多个bin组合划分为多个模型，每个模型对应一个晶圆颗粒质量等级；

所述将待分类晶圆颗粒的各bin值，与所述多个bin组合进行匹配，将匹配成功的目标bin组合对应的晶圆颗粒质量等级确定为所述待分类晶圆颗粒的质量等级，包括：

将所述待分类晶圆颗粒的各bin值，与所述多个bin组合进行匹配，将匹配成功的目标bin组合所属的模型对应的晶圆颗粒质量等级确定为所述待分类晶圆颗粒的质量等级。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述bin组合的个数为M，所述晶圆颗粒质量等级包括：有效和无效；

所述根据所述多个bin组合的置信区间最大值的大小对所述多个bin组合进行排序，包括：

根据所述多个bin组合的置信区间最大值从小到大对所述多个bin组合进行排序；

所述将排序后的所述多个bin组合划分为多个模型，每个模型对应一个晶圆颗粒质量等级，包括：

取排序后的前M1个bin组合形成第一模型，剩余的M-M1个bin组合形成第二模型，所述第一模型对应的晶圆颗粒质量等级为有效，所述第二模型对应的晶圆颗粒质量等级为无效。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述分bin结果确定至少两个重要bin之前，还包括：

针对任意bin，当所述bin的取值种类小于或等于预设的第一阈值时，确定不对所述bin进行聚类；

当所述bin的取值种类大于所述第一阈值时，对所述bin的取值进行聚类，所述bin聚类后的取值种类小于或者等于所述第一阈值。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述分bin结果确定至少两个重要bin，包括：

根据所述多个晶圆颗粒的数据标签，以及各bin的取值或者各bin的最大取值，采用随机森林算法计算各bin的贡献度，所述贡献度用于表示bin对晶圆颗粒的质量影响程度；

选择贡献度最大的N个bin作为所述重要bin，N大于或者等于2。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述多个晶圆颗粒的质量等级，以及各bin的取值或者各bin的最大取值，采用随机森林算法计算各bin的贡献度之后，还包括：

计算各bin的无效晶圆颗粒的PPM；

画出各bin的取值与无效晶圆颗粒的PPM的相关性图；

根据各bin的取值与无效晶圆颗粒的PPM的相关性图，验证对应的bin的贡献度是否有效；

所述选择贡献度最大的N个bin作为所述重要bin，包括：

从贡献度有效的bin中选择贡献度最大的N个bin作为所述重要bin。