[发明专利]一种光学设备的装调方法以及装调系统

说明书

本申请实施例公开了一种光学设备的装调方法以及装调系统，该装调方法包括：提供第一测试光源，将第一测试光源安装于探测器位置；将第一光学元件安装于第一光学元件位置；通过第一测试光源向第一光学元件发射第一测试光信号，基于第一测试光信号的传输光路以及光路中心轴线对探测器和/或第一光学元件进行装调，根据光路可逆的原理，利用所述装调方法装调后的光学设备进行检测时，所述光学设备中的检测光信号会通过所述第一光学元件被所述探测器探测，使得所述探测器和所述第一光学元件具有较高的装调精度，从而使得所述装调方法能够有效提高所述光学设备的装调精度。

技术领域

本申请涉及光学设备技术领域，尤其涉及一种光学设备的装调方法以及装调系统。

背景技术

随着半导体技术的逐渐发展，半导体器件已经被广泛应用于各个技术领域。而在半导体器件的实际应用中，检测半导体器件是否存在缺陷，是保证半导体器件正常工作的重要手段。

光学设备是检测半导体器件是否存在缺陷的常用检测设备，为了保证对半导体器件进行检测时的准确性，在利用光学设备对半导体器件进行检测之前，需要对光学设备进行装调处理，以保证光学设备的安装精度，从而保证光学设备对半导体器件进行检测时的准确性。因此，为了保证光学设备的装调精度，从而保证光学设备对半导体器件进行检测时的准确性，提供一种能够对光学设备进行装调处理的光学设备装调方法，成为了了本领域技术人员的研究重点。

发明内容

为解决上述技术问题，本申请实施例提供了一种光学设备的装调方法，该装调方法能够有效提高所述光学设备的装调精度，进而有助于提高所述光学设备对半导体器件进行检测时的检测精度。

为解决上述问题，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种光学设备的装调方法，所述光学设备包括安装板、第一光学元件和探测器，所述探测器用于通过所述第一光学元件探测待测工件的出射光，所述安装板上具有所述光学设备的光学路线图，所述光学路线图包括光路中心轴线以及位于所述光路中心轴线上的第一光学元件位置及探测器位置，该装调方法包括：

提供第一测试光源，将所述第一测试光源安装于所述探测器位置；

将所述第一光学元件安装于所述第一光学元件位置；

通过所述第一测试光源向所述第一光学元件发射第一测试光信号，基于所述第一测试光信号的传输光路以及所述光路中心轴线对所述探测器和/或所述第一光学元件进行装调处理。

可选的，基于所述第一测试光信号的传输光路以及所述光路中心轴线对所述探测器和/或所述第一光学元件进行装调处理的步骤包括：

沿所述第一测试光信号的传输光路设置多个第一光阑，所述多个第一光阑的光学中心位于所述光路中心轴线上；

调节所述第一测试光源的出光口位置和/或所述第一光学元件位置，使得所述第一测试光信号通过所述多个第一光阑。

可选的，所述第一光学元件位置包括反射元件位置，所述第一光学元件包括反射元件，所述反射元件用于改变所述第一测试光信号的传输光路；

将所述第一光学元件安装于所述第一光学元件位置包括：将所述反射元件安装于所述反射元件位置；

基于所述第一测试光信号的传输光路以及所述光路中心轴线对所述第一光学元件进行装调处理的步骤包括：

调节所述第一测试光源的出光口位置，使得所述第一测试光源发射的所述第一测试光信号通过所述多个第一光阑之后，调节所述反射元件的位置，使经过所述反射元件后的所述第一测试光信号，通过所述多个第一光阑。

可选的，所述第一光学元件位置还包括透镜组位置，所述第一光学元件还包括透镜组，所述光学设备对待测工件进行检测时，所述透镜组用于将经过所述透镜组的光信号汇聚至所述探测器；