[发明专利]一种电化学蚀刻实验装置

权利要求书

1.一种电化学蚀刻实验装置，包括蚀刻槽(2)，位于蚀刻槽(2)的外侧的蚀刻电源(1)和高度计(33)，以及位于蚀刻槽(2)的内部的阴极座(30)和阳极座(17)，其特征在于：所述阳极座(17)的底部固定连接有支承板(18)，所述支承板(18)可拆卸连接有阳极(32)，所述蚀刻槽(2)设有驱动支承板(18)升降的升降机构(3)，以及驱动支承板(18)从竖直状态翻转到水平状态的翻转机构(4)；

所述蚀刻槽(2)的外侧设有热风机(23)，所述热风机(23)的出口端连接有送风软管(24)，所述阳极座(17)内开设有空腔，所述送风软管(24)上远离热风机(23)的一端与空腔连通，所述阳极座(17)的底部固定连接有与空腔连通的气刀(25)；

所述升降机构(3)包括与蚀刻槽(2)的顶部固定连接的下基板(5)，所述下基板(5)的顶部固定安装有第一电动推杆(6)，所述第一电动推杆(6)的推杆端向上延伸并且固定连接有上基板(7)，所述上基板(7)设有翻转机构(4)；

所述翻转机构(4)包括固定安装于上基板(7)的底部的第二电动推杆(8)，所述第二电动推杆(8)的推杆端向下延伸并且固定连接有推板(9)，所述推板(9)固定连接有直齿条(10)，所述上基板(7)固定连接有侧板(11)，所述侧板(11)固定连接有固定轴(12)，所述固定轴(12)转动配合有与直齿条(10)啮合的齿轮(13)，所述齿轮(13)固定连接有联接架(16)，所述联接架(16)固定连接阳极座(17)。

2.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于：所述侧板(11)设有两个，两个所述侧板(11)分别位于上基板(7)的前后两侧，所述直齿条(10)上靠近侧板(11)的一端固定连接有导向块(15)，所述侧板(11)上靠近直齿条(10)的侧壁开设有容纳导向块(15)竖直移动的导向槽(14)，所述导向槽(14)的水平截面呈燕尾槽形。

3.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于：所述阳极座(17)的底部固定连接有与支承板(18)平行的平行板(19)，所述平行板(19)固定贯穿设有内螺纹管(20)，所述内螺纹管(20)丝扣连接有蝶形螺栓(21)，所述蝶形螺栓(21)的螺栓端向支承板(18)方向延伸并且固定连接有压板(22)，所述压板(22)和支承板(18)平行。

4.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于：所述蚀刻槽(2)上远离阳极座(17)的内壁上固定连接有水平滑轨(26)，所述水平滑轨(26)滑动配合有滑块(27)，且所述水平滑轨(26)上设有用于放松或紧固滑块(27)的紧定螺栓(28)，所述滑块(27)的底部固定连接有卡座(29)，所述卡座(29)卡接有阴极座(30)，所述阴极座(30)固定连接有阴极(31)。

5.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于：所述高度计(33)为数显式高度计，所述蚀刻槽(2)的侧壁上固定连接有容纳高度计(33)的壳体的放置盒(34)，所述放置盒(34)的底部中心开设有容纳高度计(33)的探针通过的通孔。

6.根据权利要求1所述的一种电化学蚀刻实验装置，其特征在于：所述气刀(25)、阳极(32)和支承板(18)按阴极座(30)到阳极座(17)方向依次设置，当支承板(18)处于竖直状态时，所述气刀(25)的出风口所在平面与阳极(32)所在平面呈三十度夹角。