[发明专利]一种用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法

权利要求书

1.一种用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

在无离子化环境下校准电场传感器的灵敏度系数k₁；

在电场传感器外部设置用于沉积电荷的封装壳体，并置于充满离子化空气的电场环境中；

在高压极板上施加不同的被测电压，观察电场传感器输出曲线稳定后，拟合电场传感器在离子化空气中的灵敏度系数k₂；

所述离子化空气中的灵敏度系数是指：带电离子沉积在所述封装壳体上，沉积的量到达稳定之后读取电场传感器的输出，并进行线性拟合，得到的斜率作为离子化空气中的灵敏度系数；

在高压极板上施加不同的被测电压，拟合电场传感器在离子化空气中的灵敏度系数满足：

V=k₂×V_E

其中， k₂是离子化空气中的拟合灵敏度系数，V是被测电压，V_E是电场传感器的输出值；

所述电场传感器输出曲线是指：电场传感器输出与高压极板上施加的不同的被测电压的曲线；

计算k₂除以k₁，得到沉积电荷对灵敏度的放大系数。

2.根据权利要求1所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述电场传感器为基于MEMS技术的电场敏感芯片、场磨式电场传感器、振动电容式电场传感器、光学式电场传感器中的任意一种，或者为包含测试电路的电场传感器系统。

3.根据权利要求1所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述离子化空气包括采用除静电装置造成的离子化空气环境，以及高压输电线路空气放电造成的离子化空气环境。

4.根据权利要求3所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述除静电装置包括离子风机、离子风棒、软X射线中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述高压极板用于模拟实际被测物，包括平板玻璃、电路板及塑料薄膜中的任意一种，所述高压极板的尺寸及形状根据被测物的形状进行调整，所述高压极板与所述电场传感器之间的距离也根据实际使用场景进行调整。

6.根据权利要求5所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述高压极板与所述电场传感器的探头垂直或呈预定角度。

7.根据权利要求5所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，采用直流高压电源或者充电板检测仪在所述高压极板上施加已知电压。

8.根据权利要求1所述的用于离子化空气中的非接触表面电位测试方法，其特征在于，所述沉积电荷对灵敏度的放大系数与封装壳体的结构、材料及尺寸相关，对于同样结构、材料及尺寸的封装壳体，只需进行一次标定。