[发明专利]一种晶圆自动定位示教系统及方法

权利要求书

1.一种晶圆自动定位示教系统，其特征在于，包括：

承载台；

示教盘，所述示教盘朝向所述承载台的一侧的中心设有图像采集装置，用于采集所述承载台的图像；

搬运装置，位于所述承载台上方，用于搬运所述示教盘或晶圆；

定位装置，设置在所述搬运装置上，用于获取所述示教盘或所述晶圆的中心位置；

控制装置，连接所述图像采集装置、所述搬运装置和所述定位装置，所述控制装置首先根据所述承载台的图像以及所述示教盘的中心位置，控制所述搬运装置使所述示教盘与所述承载台同心；之后将所述示教盘替换为所述晶圆，并使得所述搬运装置的原点与所述承载台中心对齐，所述搬运装置的原点是指所述示教盘与所述承载台对准时所述示教盘中心在所述搬运装置上的位置，接下来通过所述定位装置获取所述晶圆的中心位置，并计算所述晶圆和所述示教盘的中心偏差，根据所述中心偏差控制所述搬运装置以调整所述晶圆与所述承载台同心；

所述搬运装置包括：机械手，以及连接于所述机械手和所述控制装置之间的运动支架，所述机械手的中心设有安装位；

所述定位装置包括多个位置传感器，多个所述位置传感器环绕所述安装位设置；

多个所述位置传感器包括：第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器；

其中，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器共线，所述第三位置传感器和所述第四位置传感器共线；

所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述示教盘的直径与所述晶圆相同。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述承载台的中心设有定位孔，用于确定所述承载台的中心位置。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述示教盘朝向所述承载台的一侧设有补光装置，所述补光装置呈环绕所述图像采集装置的圆环设置。

5.一种晶圆自动定位示教方法，包括如权利要求1所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，包括：

步骤S1：搬运装置搬运示教盘；

步骤S2：定位装置获取所述示教盘的中心位置，图像采集装置获取承载台中心的定位孔图像；

步骤S3：控制装置计算所述示教盘的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述示教盘的中心位置与所述定位孔对齐；

步骤S4：所述搬运装置搬运晶圆；

步骤S5：所述定位装置获取所述晶圆的中心位置；

步骤S6：所述控制装置计算所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述晶圆的中心位置与所述定位孔对应。

6.根据权利要求5所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述步骤S6中，所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，通过所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差得到，所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差包括X方向偏差和Y方向偏差。

7.根据权利要求6所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述定位装置包括：共线的第一位置传感器和第二位置传感器，以及共线的第三位置传感器和第四位置传感器；所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直；

所述步骤S5还包括，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第一偏差数据；所述第三位置传感器和所述第四位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第二偏差数据；

所述步骤S6还包括，所述控制装置根据所述第一偏差数据计算得到所述X方向偏差，所述控制装置根据所述第二偏差数据计算得到所述Y方向偏差。

8.根据权利要求5所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：通过无线传输模块将所述定位孔图像传输至所述控制装置。