[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材在审
| 申请号： | 202110758654.0 | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113481475A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 晶粒 细化 方法 | ||
1.一种钛靶材晶粒细化的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)在400-500℃下对钛靶材进行预热；
(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；
(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10-20μm的钛靶材。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述钛靶材的晶粒尺寸为20-30μm。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述预热在电阻式加热炉中进行；
优选地，步骤(1)所述预热的保温时间为5-30min。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述三向锻造包括2-5个加工周期，每个加工周期包括依次进行的第一道次、第二道次与第三道次。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一道次具体为将钛靶材沿着X轴方向墩粗至第一变形量，然后拉拔至原始尺寸；
优选地，所述第一变形量为40-60％。
6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述第二道次具体为将钛靶材沿着Y轴方向墩粗至第二变形量，然后拉拔至原始尺寸；
优选地，所述第二变形量为40-60％。
7.根据权利要求4-6任一项所述的方法，其特征在于，所述第三道次具体为将钛靶材沿着Z轴方向墩粗至第三变形量，然后拉拔至原始尺寸；
优选地，所述第三变形量为40-60％。
8.根据权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，步骤(3)所述冷却的方式包括水冷和/或空冷。
9.根据权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)在400-500℃的电阻式加热炉中对晶粒尺寸为20-30μm的钛靶材进行保温时间为5-30min的预热；
(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；所述三向锻造包括2-5个加工周期，每个加工周期包括依次进行的第一道次、第二道次与第三道次；所述第一道次具体为将钛靶材沿着X轴方向墩粗至变形量为40-60％，然后拉拔至原始尺寸；所述第二道次具体为将钛靶材沿着Y轴方向墩粗至变形量为40-60％，然后拉拔至原始尺寸；所述第三道次具体为将钛靶材沿着Z轴方向墩粗至变形量为40-60％，然后拉拔至原始尺寸；
(3)水冷和/或空冷步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10-20μm的钛靶材。
10.一种利用如权利要求1-9任一项所述方法进行晶粒细化所得的钛靶材。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110758654.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种河道污水高效处理方法及其处理设备
- 下一篇：显微镜物镜
- 同类专利
- 专利分类
