[发明专利]基于有机晶态异质结的紫外光晶体管及其制备方法有效
申请号: | 202110759016.0 | 申请日: | 2021-07-05 |
公开(公告)号: | CN113380953B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 迟力峰;黄丽珍;王滋;薛娣 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李柏柏 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 有机 晶态 异质结 紫外光 晶体管 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于有机晶态异质结的紫外光晶体管,其特征在于:包括自上而下依次设置的基底、绝缘层、模板层、晶态有机异质结光敏层以及源漏电极,所述模板层为七联苯,所述晶态有机异质结光敏层包括p型有机半导体光敏层和n型有机半导体光敏层,所述p型有机半导体光敏层和n型有机半导体光敏层依次沉积在所述模板层上;
所述p型有机半导体光敏层材质为红荧烯;n型有机半导体光敏层的材质为全氟酞菁铜或N,N'-二正辛烷基-3,4,9,10-苝四甲酰二亚胺。
2.根据权利要求1所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管,其特征在于:所述晶态有机异质结光敏层的厚度为5-100 nm。
3.根据权利要求1所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管,其特征在于:所述源漏电极为选自金电极、银电极、铬电极和铝电极中的一种或两种。
4.一种根据权利要求1-3任一项所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)在基底表面形成平整的绝缘层,之后在绝缘层的表面利用真空镀膜法沉积模板层材料,形成模板层;
(2)在所述模板层上先沉积p型有机半导体材料,再沉积n型有机半导体材料,形成晶态有机异质结光敏层,在所述晶态有机异质结光敏层上沉积源漏电极,形成基于有机晶态异质结的紫外光晶体管。
5.根据权利要求4所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,通过真空升华法沉积模板层,基底的温度为100-150 ℃,在压力为10-4-10-5 Pa、沉积速率为0.2-1 nm/min的条件下进行。
6.根据权利要求4所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,采用真空升华法沉积晶态有机异质结光敏层,依次沉积p型半导体材料和n型半导体材料,基底的温度为20-150 ℃,在压力为10-4-10-5 Pa、沉积速率为0.2-1 nm/min的条件下进行。
7.根据权利要求4所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,通过真空热蒸镀法沉积源漏电极,沉积过程中压力为10-4-10-5 Pa,沉积速率为1-5 nm/min。
8.根据权利要求4所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,源漏电极的图案利用掩膜版技术实现。
9.根据权利要求8所述的基于有机晶态异质结的紫外光晶体管的制备方法,其特征在于:在步骤(2)中,源漏电极图案采用对电极,电极沟道长度50-100 μm,宽度1000-5000 μm,电极宽长比为20-50。
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