[发明专利]一种耐腐蚀绝缘掩膜版及其制作方法

权利要求书

1.一种耐腐蚀绝缘掩膜版，其特征在于，包括掩膜版(1)和掩膜版金属框架(3)，所述掩膜版(1)包括多根横条(7)和多根纵条(6)；所述横条(7)与所述纵条(6)之间为正交关系且所述横条(7)与所述纵条(6)交汇形成多个蒸镀区域(5)，每个所述横条(7)与每个所述纵条(6)的两端都设有轴突(2)，所述掩膜版金属框架(3)上设有与所述轴突(2)配合使用的焊接槽(4)。

2.一种耐腐蚀绝缘掩膜版制作方法，包括上述权利要求1中的所述轴突(2)和焊接槽(4)，其特征在于，包括以下步骤：

S1，对所述轴突(2)和焊接槽(4)的焊接面用酒精超声清洗，冷风吹干；

S2，使用电弧喷涂对焊接面进行喷涂，形成一层金属膜；

S3，对金属膜进行喷砂打磨加糙处理；

S4，称取镍粉、硼化铁、二氧化钛、二氧化锰，用高速搅拌机使其混合均匀，在70MPa的压力下压制成型，转移至碳管炉中升温到400-430℃下烧结1-5h后再自然冷却至室温得到复合粉体；

S5，火焰喷涂设备将复合粉体对金属膜表面进行喷涂，在金属膜表面沉积一层耐腐绝缘层；

S6，加工完毕的掩膜版在0-15℃环境中静置5h以上。

3.根据权利要求1所述的耐腐蚀绝缘掩膜版制作方法，其特征在于，所述S2中电弧喷涂的喷涂材料为铬钢。

4.根据权利要求1所述的耐腐蚀绝缘掩膜版制作方法，其特征在于，所述S2中金属膜膜厚为3mm。

5.根据权利要求1所述的耐腐蚀绝缘掩膜版制作方法，其特征在于，所述S4中镍粉、硼化铁、二氧化钛、二氧化锰的质量比为76:13:7:3。

6.根据权利要求1所述的耐腐蚀绝缘掩膜版制作方法，其特征在于，所述耐腐绝缘层厚度为0.5-5μm。