[发明专利]测试系统及方法在审

专利信息
申请号: 202110760888.9 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113671467A 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 吕朝晨;庞晓林;王青;江蔼庭;李文亮;金晶 申请(专利权)人: 华芯半导体研究院(北京)有限公司;华芯半导体科技有限公司
主分类号: G01S7/497 分类号: G01S7/497
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄玉霞
地址: 100020 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 测试 系统 方法
【说明书】:

发明公开了一种测试系统及方法,系统包括:发射装置,发射装置包括驱动组件和VCSEL芯片,驱动组件用于向VCSEL芯片输入驱动信号,以使VCSEL芯片输出纳秒级短脉冲光信号;接收装置,用于接收纳秒级短脉冲光信号,并对纳秒级短脉冲光信号进行光电转换,以输出与纳秒级短脉冲光信号对应的脉冲电信号;显示装置,用于接收来自接收装置的脉冲电信号,并对脉冲电信号进行显示,以便读取纳秒级短脉冲光信号的测试参数。该系统实现了对工作在短脉冲、大电流条件下的VCSEL芯片性能的评估。

技术领域

本发明涉及激光器测试技术领域,尤其涉及一种测试方法及系统。

背景技术

目前,VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直腔面发射激光器)产品广泛用于光学测距、人脸识别、激光雷达等场景,对于要实现较远距离的探测,就需要向VCSEL提供纳秒级脉冲信号,要求向其发射的矩形脉冲信号有较高的脉冲峰值功率和较小的上升时间,以保证脉冲信号回传时能够准确识别。在利用VCSEL实现较远距离的探测时,需要对VCSEL进行测试,以检测其相关性能。

当前对于高功率VCSEL的测试大多停留在较大占空比的毫秒级或者亚毫秒级的脉冲测试阶段,主要测试的参数包括L-I-V、NFT、FFT等,当前的测试方法或设备无法满足现在的需求。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种测试系统,实现了对工作在短脉冲、大电流条件下的VCSEL芯片性能的评估。

本发明的第二个目的在于提出一种测试方法。

为达到上述目的,本发明第一方面实施例提出了一种测试系统,所述系统包括:发射装置,所述发射装置包括驱动组件和VCSEL芯片,所述驱动组件用于向所述VCSEL芯片输入驱动信号,以使所述VCSEL芯片输出纳秒级短脉冲光信号;接收装置,用于接收所述纳秒级短脉冲光信号,并对所述纳秒级短脉冲光信号进行光电转换,以输出与所述纳秒级短脉冲光信号对应的脉冲电信号;

显示装置,用于接收来自所述接收装置的脉冲电信号,并对所述脉冲电信号进行显示,以便读取所述纳秒级短脉冲光信号的测试参数。

根据本发明实施例的测试系统,利用驱动组件驱动VCSEL芯片,使VCSEL芯片输出纳秒级短脉冲信号,接收装置对纳秒级短脉冲信号进行光电转换,输出与纳秒级短脉冲信号对应的脉冲电信号,并利用显示装置显示脉冲电信号,以便得到纳秒级短脉冲信号的测试参数,该系统实现了对工作在短脉冲、大电流条件下的VCSEL芯片性能的评估。

另外,根据本发明上述实施例提出的测试系统还可以具有如下附加的技术特征:

根据本发明的一个实施例,所述驱动组件包括驱动板、直流电源、信号发生器和控制器,其中,

所述直流电源、所述信号发生器均与所述驱动板连接,所述驱动板与所述VCSEL芯片连接,所述控制器与所述驱动板、所述直流电源和所述信号发生器分别连接,用于控制所述直流电源向所述驱动板供电,以及控制所述驱动板向所述VCSEL芯片输入所述驱动信号。

根据本发明的一个实施例,所述发射装置还包括温度控制组件,所述温度控制组件包括测试夹具和温度控制模块,其中,

所述测试夹具用于夹持所述VCSEL芯片,所述温度控制模块用于调节所述VCSEL芯片所处环境的温度。

根据本发明的一个实施例,所述接收装置包括积分球和光电探测器,其中,

所述积分球用于接收所述纳秒级短脉冲光信号,并对所述纳秒级短脉冲光信号进行反复反射,所述光电探测器用于接收所述积分球输出的光信号,并将所述光信号转换为所述脉冲电信号。

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