[发明专利]一种柔性透明电极

权利要求书

1.一种柔性透明电极，包括电极单元(1)，所述电极单元(1)包括金属基材(2)，以及填充在金属基材(2)内的电介质材料(3)，其特征在于：该电极单元(1)为一表面连续的三维柱状单元，所述电介质材料(3)包括沿Z方向相互间隔的 两个模块，每个模块包括至少一个半椭圆柱，该半椭圆柱的轴向在X-Y平面内延伸，半椭圆柱的两端延伸至电极单元(1)的表面，并且半椭圆柱的半椭圆截面的两条轴分别沿X-Y平面以及Z方向延伸，两个模块的半椭圆柱头对头设置。

2.如权利要求1所述的柔性透明电极，其特征在于：所述模块包括至少两个半椭圆柱时，至少两个半椭圆柱同心重叠设置，并且半椭圆柱的轴向沿X-Y平面的周向均匀分布。

3.如权利要求1所述的柔性透明电极，其特征在于：所述半椭圆截面在X-Y平面内的轴的长度为A，在Z方向的轴的半轴长度为B，电极单元(1)在Z方向上的总长度为h，w为电极单元(1)在X-Y平面内的宽度，电极单元在X-Y平面内的宽度可以有沿不同方向的多个，该多个宽度可以相同也可以不同。

4.如权利要求3所述的柔性透明电极，其特征在于：所述电极单元(1)的工作波段在可见光范围400nm～800nm内时，10nmw600nm，Aw，10nmh600nm，h-2B20nm，其平均透射率为70％以上，体电阻低于10Ω/sq；工作波段在中红外800nm～2000nm内时，10nmw2000nm,Aw,10nmh2000nm,h-2B10nm，其平均透射率为80％以上，体电阻低于10Ω/sq。

5.如权利要求1所述的柔性透明电极，其特征在于：所述金属基材采用表面等离子体金属，所述电介质材料采用禁带宽度大于0.6ev，并且在可见、近红外波段无吸收的材料。

6.如权利要求1-5中任一项所述的柔性透明电极，其特征在于：所述金属基材包括金、银、铝或钠，所述电介质材料包括二氧化硅(SiO₂)，氧化铝(Al₂O₃)，碳化硅(SiC)，氮化硅(Si₃N₄)，氮化铝(AlN)，氮化镓(GaN)，二氧化钛(TiO₂)，二氧化铪(HfO₂)，氧化锌(ZnO)或者聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)。

7.如权利要求1-5中任一项所述的柔性透明电极，其特征在于：所述模块包括两个半椭圆柱，并且两个半椭圆柱同心重叠设置，并且两个半椭圆柱的轴向在X-Y平面内相互垂直；

或者，所述模块包括三个半椭圆柱，三个半椭圆柱同心重叠设置，并且三个半椭圆柱的轴向在X-Y平面内呈60度夹角。

8.如权利要求1-5中任一项所述的柔性透明电极，其特征在于：所述电极单元(1) 在X-Y平面内的截面为正多边形。

9.如权利要求1-5中任一项所述的柔性透明电极，其特征在于：每个模块包括至少两个半椭圆柱时，每个半椭圆柱的尺寸相同。

10.如权利要求1-5中任一项所述的柔性透明电极，其特征在于：所述电极单元(1)在Z方向的两端面上，分别设有一保护层，所述保护层采用禁带宽度大于0.6ev，并且在可见、近红外波段无吸收的材料。