[发明专利]一种PID传感器和一种VOCs浓度测量方法

权利要求书

1.一种PID传感器，其特征在于，包括：紫外光源、测量室；

所述测量室的顶部设置有透光孔，所述紫外光源设置在所述透光孔上方；

所述测量室的电离区域的一侧设置有进气口，所述电离区域相对的另一侧设置有出气口；

上游区域的底部、所述电离区域的底部和下游区域的底部均设置有多个正负电极对，所述正负电极对与信号放大器连接；

所述正负电极对包括一个正电极和一个负电极，所述正电极与所述信号放大器的正输入端连接，所述负电极与所述信号放大器的负输入端连接；

所述正电极与预充电电源的正极连接，所述负电极与所述预充电电源的负极连接。

其中，所述电离区域位于所述透光孔下方，所述电离区域为所述测量室内所述紫光光源能照射到的最大区域；

其中，所述上游区域是指所述电离区域和所述进气口之间的区域；

其中，所述下游区域是指所述电离区域和所述出气口之间的区域。

2.根据权利要求1所述的PID传感器，其特征在于，所述正负电极对设置在基板上；

所述基板上还设置有恒压电极板；

所述恒压电极板包括正极板和负极板；

所述正极板与恒压电源的正极连接；

所述负极板与所述恒压电源的负极连接。

3.根据权利要求1所述的PID传感器，其特征在于，所述透光孔上方设置有可移动的遮光板。

4.根据权利要求1所述的PID传感器，其特征在于，所述进气口设置有气体控制器，所述气体控制器用于控制气体流速。

5.根据权利要求4所述的PID传感器，其特征在于，所述进气口设置还设置有气体过滤器，所述气体过滤器与所述气体控制器连接。

6.根据权利要求1所述的PID传感器，其特征在于，所述紫光光源为真空紫外光源，所述紫光光源的功率为30W到200W。

7.一种VOCs浓度测量方法，其特征在于，包括：

使用所述预充电电源对所述正负电极对进行预充电，所述预充电完成后切断所述预充电电源；

当所述紫光光源预热完毕，多次从进气口向测量室通入不同流速的测试气体；

获取每个所述正负电极对所对应的所述信号放大器的电压差，并根据所述电压差，确定所述正负电极对在放电过程中的电势差变化情况；

对所述电势差变化情况进行算法分析，确定所述测试气体中的VOCs浓度和VOCs的化合物离子组分。

8.根据权利要求7所述的VOCs浓度测量方法，其特征在于，所述对所述电压差变化过程数据进行算法分析，确定所述测试气体中的化合物离子组分和VOCs浓度，包括：

确定任一所述正负电极对的自然放电曲线；

在不同气体流速下，确定任一所述正负电极对的照射放电曲线；

根据所述自然放电曲线、所述照射放电曲线确定所述测试气体中的VOCs浓度和不同化合物离子组分的含量。

9.根据权利要求7所述的VOCs浓度测量方法，其特征在于，所述对所述电压差进行算法分析，确定所述测试气体中的化合物离子组分和VOCs浓度，包括：

根据所述信号放大器的空间分布，对若干所述信号放大器进行信号采样，确定若干信号采样值；

获取所述VOCs的标定采样值；

根据下游区域若干信号采样值和所述标定采样值，确定离子质量和带电荷信息；

根据所述离子质量和带电荷信息，确定所述VOCs的化合物离子组分。