[发明专利]一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统在审

专利信息
申请号: 202110770207.7 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113407219A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 苏广峰;姜伟伟 申请(专利权)人: 安测半导体技术(江苏)有限公司
主分类号: G06F8/65 分类号: G06F8/65;G01R31/28
代理公司: 北京文苑专利代理有限公司 11516 代理人: 于利晓
地址: 225000 江苏省扬州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 测试 程序 阈值 更新 方法 系统
【说明书】:

发明提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统,该方法包括:测试机对芯片进行测试,解析测试数据,将解析后的测试数据上传给服务器;服务器接收解析后的测试数据,将接收的测试数据保存到服务器的数据库中;根据取样参数从数据库中提取样本值,根据样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值;获取第一动态阈值和第二动态阈值;将芯片测试的量测值与第一动态阈值和第二动态阈值进行比较,判断芯片为良品还是不良品。本申请为车规/军工等大量需求高可靠性芯片的测试提供解决方案,提高了测试效率以及测试的便利性,大大降低了不良品率。

技术领域

本发明属于半导体测试领域,具体而言,涉及一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统。

背景技术

在半导体芯片测试中,测试程序由很多测试项组成,例如电流测试、电压测试、频率测试等。不同的测试项有不同的规格,即程序中设定的第一阈值Hilimit、第二阈值Lolimit,其基本测试原理为:假设每一测试项量测实际值为Meas,若MeasLolimit且MeasHilimit,则该测试项Pass,若所有测试项Pass,则该颗芯片最终判为Pass(良品);若任一测试项Fail则跳过剩余测试项,该颗芯片直接判为Fail(不良品)。

测试程序调试定版后,会release(发布)到工厂进行日常的测试量产,但常有如下两种需求产生:

a.因为Wafer(晶圆)/IC(集成电路)工艺制程问题,会出现批次性的量测值Meas漂移,甚至超出第一阈值HiLimit和第二阈值LoLimit,产生批次性良率问题,针对这种情况,目前只能通过更新一版测试程序(临时修改第一阈值HiLimit和第二阈值LoLimit),再进行重新测试。

b.车规/军工等芯片需求高可靠性,需要在完成目前通用的程序架构测试时,再将量测值Pass但分布不理想的芯片也判为Fail,以保证交付芯片的超低不良品率。针对这种情况,目前只能通过对测试后的数据进行offline(离线)分析,并二次点除不理想芯片实现,存在工作量大及滞后性问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统,为车规/军工等大量需求高可靠性芯片的测试提供解决方案,提高了测试效率以及测试的便利性,大大降低了不良品率。

第一方面,本申请实施例提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法,包括:

测试机对芯片进行测试,解析测试数据,将解析后的测试数据上传给服务器;

所述服务器接收所述解析后的测试数据,将接收的测试数据保存到所述服务器的数据库中;

根据取样参数从所述数据库中提取样本值,根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值;

获取所述第一动态阈值和第二动态阈值;

将芯片测试的量测值与所述第一动态阈值和第二动态阈值进行比较,判断芯片为良品还是不良品。

其中,所述根据取样参数从所述数据库中提取样本值,根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值,包括:

根据取样参数从所述数据库中提取样本值,所述取样参数包括取样方式s,批次信息ilot,数量信息m,时间段信息sdate/edate,测试项信息parameter,收敛区间n,根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值。

其中,所述根据取样参数从所述数据库中提取样本值,根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值,包括:

根据取样参数从所述数据库中提取样本值,所述取样参数包括取样方式s,批次信息ilot,数量信息m,时间段信息sdate/edate,测试项信息parameter,收敛区间n;

当取样方式s为指定批号时,根据批次信息ilot、测试项信息parameter组织SQL搜索语句;根据SQL搜索语句提取样本;

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