[发明专利]一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统

说明书

本发明提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统，该方法包括：测试机对芯片进行测试，解析测试数据，将解析后的测试数据上传给服务器；服务器接收解析后的测试数据，将接收的测试数据保存到服务器的数据库中；根据取样参数从数据库中提取样本值，根据样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值；获取第一动态阈值和第二动态阈值；将芯片测试的量测值与第一动态阈值和第二动态阈值进行比较，判断芯片为良品还是不良品。本申请为车规/军工等大量需求高可靠性芯片的测试提供解决方案，提高了测试效率以及测试的便利性，大大降低了不良品率。

技术领域

本发明属于半导体测试领域，具体而言，涉及一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统。

背景技术

在半导体芯片测试中，测试程序由很多测试项组成，例如电流测试、电压测试、频率测试等。不同的测试项有不同的规格，即程序中设定的第一阈值Hilimit、第二阈值Lolimit，其基本测试原理为：假设每一测试项量测实际值为Meas,若MeasLolimit且MeasHilimit,则该测试项Pass，若所有测试项Pass，则该颗芯片最终判为Pass(良品)；若任一测试项Fail则跳过剩余测试项，该颗芯片直接判为Fail(不良品)。

测试程序调试定版后，会release(发布)到工厂进行日常的测试量产，但常有如下两种需求产生：

a.因为Wafer(晶圆)/IC(集成电路)工艺制程问题，会出现批次性的量测值Meas漂移，甚至超出第一阈值HiLimit和第二阈值LoLimit，产生批次性良率问题，针对这种情况，目前只能通过更新一版测试程序(临时修改第一阈值HiLimit和第二阈值LoLimit)，再进行重新测试。

b.车规/军工等芯片需求高可靠性，需要在完成目前通用的程序架构测试时，再将量测值Pass但分布不理想的芯片也判为Fail,以保证交付芯片的超低不良品率。针对这种情况，目前只能通过对测试后的数据进行offline(离线)分析，并二次点除不理想芯片实现，存在工作量大及滞后性问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法及系统，为车规/军工等大量需求高可靠性芯片的测试提供解决方案，提高了测试效率以及测试的便利性，大大降低了不良品率。

第一方面，本申请实施例提供了一种半导体测试程序阈值更新的方法，包括：

测试机对芯片进行测试，解析测试数据，将解析后的测试数据上传给服务器；

所述服务器接收所述解析后的测试数据，将接收的测试数据保存到所述服务器的数据库中；

根据取样参数从所述数据库中提取样本值，根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值；

获取所述第一动态阈值和第二动态阈值；

将芯片测试的量测值与所述第一动态阈值和第二动态阈值进行比较，判断芯片为良品还是不良品。

其中，所述根据取样参数从所述数据库中提取样本值，根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值，包括：

根据取样参数从所述数据库中提取样本值，所述取样参数包括取样方式s，批次信息ilot，数量信息m，时间段信息sdate/edate，测试项信息parameter,收敛区间n，根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值。

其中，所述根据取样参数从所述数据库中提取样本值，根据所述样本值得到第一动态阈值和第二动态阈值，包括：

根据取样参数从所述数据库中提取样本值，所述取样参数包括取样方式s，批次信息ilot，数量信息m，时间段信息sdate/edate，测试项信息parameter,收敛区间n；

当取样方式s为指定批号时，根据批次信息ilot、测试项信息parameter组织SQL搜索语句；根据SQL搜索语句提取样本；