[发明专利]电感结构及其制备方法、功率放大器和低噪声放大器

权利要求书

1.一种电感结构，其特征在于，包括：

基底，所述基底上具有介电层；

第一线圈部，在所述介电层内沿一对称轴所在中心线上一点对称互绕并引出第一端和第二端；所述互绕是指分别沿顺时针和逆时针绕制；

第二线圈部，在所述介电层内沿所述对称轴所在中心线上一点对称互绕并引出第三端和第四端，且所述第二线圈部与所述第一线圈部交替间隔绕制；

第三线圈部，在所述介电层内分别从所述第三端和所述第四端的位置互绕并引出第五端和第六端；所述第三线圈部从靠近所述对称轴所在中心线的位置进行绕制所形成；且所述第三线圈部的绕线半径是根据电感结构的实际电感值和目标值调整后所确定；

所述第二线圈部和所述第三线圈部形成一组合线圈；

所述第一线圈部与所述第二线圈部的匝数比不等于所述第一线圈部与所述组合线圈的匝数比。

2.根据权利要求1所述的电感结构，其特征在于，所述介电层包括第一金属层和形成于所述第一金属层上方的第二金属层，所述第一线圈部和所述第二线圈部位于所述第一金属层，所述第三线圈部分别从所述第三端和所述第四端的位置跳线至所述第二金属层开始互绕。

3.根据权利要求2所述的电感结构，其特征在于，所述第三线圈部在所述基底上的投影与所述第一金属层上线圈在所述基底上的投影存在重叠区域。

4.根据权利要求3所述的电感结构，其特征在于，所述第三线圈部在所述基底上的投影位于所述第一金属层上线圈在所述基底上的投影区域内。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的电感结构，其特征在于，所述第一线圈部和所述第二线圈部通过位于所述介电层的顶层金属实现；所述第三线圈部通过位于所述介电层内的铝焊盘金属实现。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的电感结构，其特征在于，还包括一金属线，所述金属线位于所述对称轴所在的中心线，且所述金属线的一端与所述第二线圈部开始绕制的起点连接。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的电感结构，其特征在于，所述第一端用于收发射频信号，所述第二端接地；

所述第三端和所述第四端用于接收信号，所述第五端和所述第六端用于发射信号；或，所述第五端和所述第六端用于接收信号，所述第三端和所述第四端用于发射信号。

8.一种功率放大器，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的电感结构，当所述功率放大器处于发射状态时，所述功率放大器内部生成的信号分别经所述第三端和所述第四端后，在线圈耦合作用下从所述第一端输出射频信号。

9.一种低噪声放大器，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的电感结构，当所述低噪声放大器处于接收状态时，所述第一端接收的射频信号在线圈耦合作用下从所述第五端和第六端输出至所述低噪声放大器内部。

10.一种电感结构的制备方法，其特征在于，包括：

提供基底，并在所述基底上形成介电层；

在所述介电层内形成第一线圈部，所述第一线圈部沿对称轴所在中心线上一点对称互绕，且所述第一线圈部的两个尾部分别形成有第一端和第二端；所述互绕是指分别沿顺时针和逆时针绕制；

在所述介电层内形成第二线圈部，所述第二线圈部沿所述对称轴所在中心线上一点对称互绕，且所述第二线圈部的两个尾部分别形成有第三端和第四端，且所述第二线圈部与所述第一线圈部交替间隔绕制；

在所述介电层内从靠近所述对称轴所在中心线的位置进行金属走线绕制形成第三线圈部，所述第三线圈部分别沿所述第三端和所述第四端的位置互绕，且所述第三线圈部的两个尾部分别形成有第五端和第六端；

获取所述电感结构的实际电感值；

根据所述电感结构的实际电感值和目标电感值，调整所述第三线圈部的绕线半径；

所述第二线圈部和所述第三线圈部形成一组合线圈；

所述第一线圈部与所述第二线圈部的匝数比不等于所述第一线圈部与所述组合线圈的匝数比。