[发明专利]一种微驱动器的闭环控制系统及方法

权利要求书

1.一种微驱动器的闭环控制系统，其特征在于，包括结构光投影装置（1）、图像采集装置（2）、主控计算机（3）、微驱动器控制芯片（4）和微驱动器（5）；

所述主控计算机（3）的控制端通过微驱动器控制芯片（4）通讯连接所述微驱动器（5）的受控端；

所述所述结构光投影装置（1）由所述主控计算机（3）控制产生第一结构光信号S1传输至所述微驱动器（5）；

所述图像采集装置（2）采集所述微驱动器（5）上的第二结构光信号S2，并传输至所述主控计算机（3）；

所述主控计算机（3）对采集得到的第二结构光信号计算，获取所述微驱动器（5）的三维形貌及控制信号S3，并将控制信号S3发送到微驱动器控制芯片（4）控制所述微驱动器（5）。

2.根据权利要求1所述的一种微驱动器的闭环控制系统，其特征在于，所述结构光投影装置（1）由结构光产生设备（1-1）和光学元件组（1-2）构成，所述结构光产生设备(1-1)为投影仪、相位调制器件、数字微镜阵列、光栅或透镜阵列，

所述光学元件组(1-2)为光学元件，包括透镜、平面镜以及可变光阑及其组合。

3.根据权利要求1所述的一种微驱动器的闭环控制系统，其特征在于，所述图像采集装置（2）包括图像采集相机（2-1）、镜头（2-2）和辅助装置，所述像采集相机（2-1）通过辅助装置调节调节镜头（2-2）的位置、俯仰角以及旋转角。

4.一种微驱动器的闭环控制方法，其特征在于，包括如下步骤，

步骤S1、结构光投影装置1投射算法生成的第一结构光信号S1；

步骤S2、将采集第二结构光信号S2通过传输线传输到主控计算机中，进行相位提取和相位拼接，在主控计算机中恢复待测微驱动器的深度信息；

步骤S3、在获得微驱动器的三维形貌后，计算出微驱动器的应变程度，通过微驱动器的应变生成反馈信号，传递至微驱动器控制芯片，微驱动器根据模拟信号产生应变；

步骤S4、根据系统需求执行若干次循环闭环控制。