[发明专利]一种使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置

权利要求书

1.一种使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，包括炉室（1）、上提拉机构（2）、硅芯成型机构（4）、加热器（8）和坩埚（9），其特征是：在所述炉室（1）的下部设有坩埚（9），在所述坩埚（9）的外围设置加热器（8），或在坩埚（9）的底部设置板状加热器（16），或在坩埚（9）的外围及底部分别设置加热器（8）和板状加热器（16），在坩埚（9）开口端的上方设有硅芯成型机构（4），所述硅芯成型机构（4）的下端面处于坩埚（9）开口端的上部且靠近坩埚（9）内的硅料融液（7），在所述硅芯成型机构（4）的上方设有籽晶夹头（2），所述籽晶夹头（2）中的夹持件（211）上夹持有籽晶形成所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置。

2.根据权利要求1所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，其特征是：所述硅芯成型机构（4）的下端面距离硅料融液（7）液面的距离为1～50mm。

3.根据权利要求1所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，其特征是：所述硅芯成型机构（4）的第一结构为硅芯成型机构（4）包括冷却介质出管（401）、冷却介质入管（402）和冷却块（407），所述冷却介质出管（401）和冷却介质入管（402）至少设置一组，在每组冷却介质出管（401）与冷却介质入管（402）的下端头分别连接冷却块（407），所述冷却块（407）的上面设有贯通至冷却块（407）下面的拉制孔（406），在拉制孔（406）外围的冷却块（407）上设有密闭的介质通道，所述介质通道的进口和出口分别连接冷却介质入管（402）和冷却介质出管（401）。

4.根据权利要求1所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，其特征是：所述硅芯成型机构（4）的第二结构为硅芯成型机构（4）包括冷却屏主体（412）、冷却介质出管（413）、空腔盘（416）和冷却介质入管（418），在所述冷却屏主体（412）的下端设有空腔盘（416），所述冷却屏主体（412）上的腔体与空腔盘（416）上的冷却介质通道（419）连通形成冷却介质通路，所述冷却介质通路分别连接冷却介质出管（413）和冷却介质入管（418），在空腔盘（416）的中部设有观察孔（417）或拉制孔（406），在观察孔（417）或拉制孔（406）的外围设置至少一个拉制孔（406），所述拉制孔（406）设置为多个时，多个拉制孔（406）环绕观察孔（417）设置，或多个拉制孔（406）为中间设置一个，另外几个环绕设置。

5.根据权利要求1所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，其特征是：所述硅芯成型机构（4）的第三结构为硅芯成型机构（4）包括冷却介质出管（401）、冷却介质入管（402）和空腔盘（416），所述冷却介质出管（401）与冷却介质入管（402）的下端头连接空腔盘（416），所述空腔盘（416）上的冷却介质通道（419）与冷却介质出管（401）和冷却介质入管（402）连通组成冷却介质通路，在空腔盘（416）的中部设有观察孔（417）或拉制孔（406），在观察孔（417）或拉制孔（406）的外围设置至少一个拉制孔（406），所述拉制孔（406）设置为多个时，多个拉制孔（406）环绕观察孔（417）设置，或多个拉制孔（406）为中间设置一个，另外几个环绕设置。

6.根据权利要求4或5任一权利要求所述的使用碎硅料同时拉制多根硅芯的装置，其特征是：所述空腔盘（416）包括上板（422）、连接柱（421）和下板（420），在所述下板（420）的上方设有上板（422），在上板（422）上面的中部设有贯通至下板（420）下面的观察孔（417），由下板（420）、上板（422）和观察孔（417）形成的空腔为冷却介质通道（419），在冷却介质通道（419）内设有复数个连接柱（421），每个连接柱（421）的上端和下端分别连接上板（422）和下板（420），在每个连接柱（421）的中部分别设有拉制孔（406），在上板（422）上分别设有至少一组贯通至冷却介质通道（419）的冷却介质下入口和冷却介质下出口。