[发明专利]一种磁控管阴极组件用焊料及其制备方法

权利要求书

1.一种磁控管阴极组件用焊料，其特征在于，按照质量百分比其组分包含钼45-70％，硅25-45％，硼6-10％。

2.一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：

a.混合球磨：按照质量百分比称取45-70％钼粉，25-45％硅粉，6-10％硼粉，并倒入球磨罐中进行混料，得到预合金化三元合金焊料料浆；

b.烘干并过筛：将混好的预合金化三元合金焊料料浆放入烘箱中进行烘干得到预合金化三元合金焊料粉末，利用筛网过筛后备用；

c.端帽点胶：将过筛后的预合金化三元合金粉末配置成胶状料，利用点胶方式在端帽形成焊料环；

d.烧结焊料：将带有焊料环的钼端帽置于气氛炉中，气体流量为10-25L/min，在1550-1700℃烧结30-100min，得到符合磁控管要求的钼端帽用三元合金焊料。

3.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤a中钼粉粒度为5-15μm、硅粉粒度为10-25μm，硼粉粒度为30-50μm。

4.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤a中混料用的磨球为直径5-10mm、长度5-15mm的钼柱、球料比为3-6:1、球磨时间为5-15h。

5.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤a中球磨转速为150-500r/min，每小时改变一次球磨转向。

6.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤a中球磨介质为乙醇、正庚烷、甲醇中的一种，料与球磨介质的质量比为3-5:3。

7.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤b中烘干温度为50-150℃，烘干时间为0.5-3h。

8.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤b中所用筛网的目数为200目。

9.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤c中预合金化三元合金粉末配置成胶状料是将三元合金粉末与有机物按照质量比80：5-10混合并充分搅拌配置而成；所述有机物为环氧树脂、丙烯酸树脂、酚醛树脂中的一种。

10.根据权利要求2所述的一种磁控管阴极组件用焊料的制备方法，其特征在于，所述步骤d中气氛炉炉内气氛为氢气、氩气或氮氢混合气体中的一种。