[发明专利]一种光学玻璃的表面防护真空镀膜系统在审
申请号: | 202110774981.5 | 申请日: | 2021-07-08 |
公开(公告)号: | CN113502458A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 郭芳伟 | 申请(专利权)人: | 徐州联超光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/52;C23C16/54 |
代理公司: | 南京聚匠知识产权代理有限公司 32339 | 代理人: | 许松 |
地址: | 221000 江苏省徐州市丰*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学玻璃 表面 防护 真空镀膜 系统 | ||
1.一种光学玻璃的表面防护真空镀膜系统,其特征在于,包括,
箱体,其为一密封性良好的壳体;
加持装置,其设置在所述箱体内部,用以对待镀膜玻璃进行加持固定;
喷头,其设置在所述箱体内部;
移轨装置,其与所述喷头相连,所述喷头能够跟随所述移轨装置的运行在所述箱体内移动,所述移轨装置包括,横向移轨,纵向移轨,竖直移轨;
检测装置,其位于所述箱体内部,用以对镀膜的玻璃进行检测,所述检测装置包括设置于所述箱体顶部的光源发射装置和位于所述箱体底部的光源采集装置;
抽真空装置,其位于所述箱体底部,用以对箱体进行抽真空;
气压检测装置,其位于所述箱体顶部,用以检测箱体内的气压;
中控模块,其与所述喷头、所述移轨装置、所述抽真空装置、所述气压检测装置、所述光源发射装置和所述光源采集装置分别相连,用以调节镀膜过程中各部件的工作状态;
当采用所述表面防护真空镀膜系统进行真空镀膜前,将清洗完成的待镀膜玻璃放入所述箱体,并通过所述检测装置对待镀膜玻璃进行固定,中控模块控制所述抽真空装置对所述箱体内进行抽真空;
当所述箱体抽真空为完成时,中控模块控制所述喷头对玻璃进行喷涂镀膜,镀膜分为初镀和终镀;
在初镀完成后,所述中控模块控制所述检测装置对镀膜成果进行检测,并根据检测结果,对终镀时喷头喷射流量、喷头移动速度和喷头距玻璃的距离中的一项或多项进行调节;
在终镀完成后,所述中控模块控制所述检测装置对镀膜成果继续进行检测,根据检测结果判定是否镀膜完成。
2.根据权利要求1所述的光学玻璃的表面防护真空镀膜系统,其特征在于,当所述中控模块控制所述抽真空装置对所述箱体内进行抽真空时,所述气压检测装置实时检测所述箱体内的气压A并将检测结果传递至所述中控模块,中控模块内设有镀膜压力标准值Az,中控模块将气压A与镀膜压力标准值Az进行对比,
当A≤Az时,所述中控模块判定抽真空完成,中控模块控制所述抽真空装置停止对所述箱体进行抽真空;
当A>Az时,所述中控模块判定抽真空为完成,中控模块控制所述抽真空装置继续对所述箱体进行抽真空,直至A≤Az。
3.根据权利要求2所述的光学玻璃的表面防护真空镀膜系统,其特征在于,当所述中控模块判定所述箱体抽真空为完成时,中控模块控制所述喷头对玻璃进行喷涂镀膜,镀膜分为初镀和终镀,其中,初镀时喷头的喷射流量为B1,喷头移动速度为C1,喷头距玻璃的距离为H1,终镀时,喷头的预设喷射流量为B2,喷头预设移动速度为C2,喷头距玻璃的预设距离为H2;
在进行初镀时,所述中控模块控制所述移轨装置带动所述喷头进行匀速移动,喷头喷射镀膜原料以对玻璃进行镀膜,喷头的喷射流量为B,喷头移动速度为C,喷头距玻璃的距离为H;
在初镀完成后,所述中控模块控制所述检测装置对玻璃进行镀膜检测,中控模块控制光源发射装置对玻璃发射垂直光照,所述光源采集装置检测透过玻璃的光照强度D,并将检测结果传递至所述中控模块,中控模块内设有光照强度初镀基准值Dz,中控模块计算光照强度D与光照强度初镀基准值Dz的差值的绝对值Dj,Dj=∣Dz-D∣,所述中控模块内还设有光照强度差值的绝对值评价参数Dp,中控模块将Dj与Dp进行对比,
当Dj≤Dp时,所述中控模块判定透过玻璃的初镀光照强度达标,中控模块不对终镀时的喷头喷射流量、喷头移动速度和喷头距玻璃的距离进行调节;
当Dj>Dp时,所述中控模块判定透过玻璃的初镀光照强度不达标,中控模块对终镀时的喷头喷射流量、喷头移动速度和喷头距玻璃的距离中的一项或多项进行调节。
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